Semicera's10x10mm Nonpolar M-fiaramanidina Aluminum substratedia natao tamim-pitandremana mba hahafeno ny fepetra takiana amin'ny fampiharana optoelectronic mandroso. Ity substrate ity dia manana orientation M-plane nonpolar, izay tena ilaina amin'ny fampihenana ny fiantraikan'ny polarization amin'ny fitaovana toy ny LED sy laser diodes, izay mitarika amin'ny fanatsarana ny fahombiazany sy ny fahombiazany.
ny10x10mm Nonpolar M-fiaramanidina Aluminum substratedia vita amin'ny kalitao kristaly miavaka, miantoka ny hakitroky ny kilema faran'izay kely sy ny fahamendrehana ara-drafitra ambony. Izany no mahatonga azy ho safidy tsara ho an'ny fitomboan'ny epitaxial ny sarimihetsika III-nitride avo lenta, izay tena ilaina amin'ny fampivoarana fitaovana optoelectronic taranaka manaraka.
Ny injenieran'i Semicera dia miantoka fa ny tsirairay10x10mm Nonpolar M-fiaramanidina Aluminum substratemanome ny hateviny tsy miovaova sy ny fisaka ambonin'ny, izay tena zava-dehibe ho an'ny fanamiana film deposition sy ny fitaovana fanamboarana. Fanampin'izany, ny haben'ny substrate dia mahatonga azy ho mety amin'ny fikarohana sy ny tontolo famokarana, ahafahana mampiasa mora ampiasaina amin'ny fampiharana isan-karazany. Miaraka amin'ny fahamarinan-toerana tsara indrindra amin'ny hafanana sy simika, ity substrate ity dia manome fototra azo itokisana amin'ny fampivoarana ny teknolojia optoelektronika manara-penitra.
| IREO SINGA NASIANA | Famokarana | Research | Dummy |
| Parametera kristaly | |||
| Polytype | 4H | ||
| Fahadisoan'ny orientation surface | <11-20 >4±0.15° | ||
| Parametera elektrika | |||
| Dopant | n-karazana azota | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramètre mekanika | |||
| savaivony | 150.0±0.2mm | ||
| hateviny | 350±25 μm | ||
| Primary flat orientation | [1-100]±5° | ||
| Lava fisaka voalohany | 47.5±1.5mm | ||
| fisaka faharoa | tsy misy | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| LOHAN-TSAMBO | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| aretina | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Eo anoloana (Si-face) henjana (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| FIRAFITRA | |||
| hakitroky micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Fahalotoana metaly | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Quality Front | |||
| anoloana | Si | ||
| Famaranana ambonin'ny tany | Si-face CMP | ||
| poti | ≤60ea/wafer (habe≥0.3μm) | NA | |
| scratches | ≤5ea/mm. Mitambatra halavany ≤Diameter | Cumulative length≤2 * Diameter | NA |
| Hodi-boasary / lavaka / tasy / striations / triatra / loto | tsy misy | NA | |
| Sisiny chips/indents/fracture/hex takelaka | tsy misy | ||
| faritra polytype | tsy misy | Faritra mitambatra≤20% | Faritra mitambatra≤30% |
| Famaritana tamin'ny laser anoloana | tsy misy | ||
| Quality Back | |||
| Famaranana miverina | C-face CMP | ||
| scratches | ≤5ea/mm, Mitambatra halavany≤2 * Savaivony | NA | |
| Kilema lamosina (tsisin'ny sisiny) | tsy misy | ||
| Ny henjana lamosina | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Back laser marking | 1 mm (avy amin'ny sisiny ambony) | ||
| sisin'ny | |||
| sisin'ny | Chamfer | ||
| Fonosana | |||
| Fonosana | Epi-vonona miaraka amin'ny fonosana banga Famonosana kasety multi-wafer | ||
| * Fanamarihana: "NA" dia midika hoe tsy misy fangatahana Ny singa tsy voalaza dia mety manondro SEMI-STD. | |||
