Silicon carbide (SiC) tokana kristaly fitaovana manana bandy lehibe hantsana sakan'ny (~ Si 3 heny), avo mafana conductivity (~ Si 3.3 heny na GaAs in-10), avo electron saturation tahan'ny fifindra-monina (~ Si 2.5 fotoana), avo fahatapahana herinaratra saha (~ Si in-10 na GaAs in-5) sy ireo toetra miavaka hafa.
Ny fitaovana semiconductor taranaka fahatelo indrindra dia ahitana SiC, GaN, diamondra, sns., Satria ny sakan'ny elanelan'ny tarika (Eg) dia lehibe kokoa na mitovy amin'ny 2.3 electron volts (eV), fantatra ihany koa amin'ny fitaovana semiconductor gap band malalaka. Raha ampitahaina amin'ny fitaovana semiconductor voalohany sy faharoa, ny fitaovana semiconductor taranaka fahatelo dia manana tombony amin'ny fitondran-tena mafana avo lenta, herinaratra avo lenta, avo lenta ny fifindra-monina elektronika ary angovo fatorana avo lenta, izay afaka mahafeno ny fepetra vaovao amin'ny teknolojia elektronika maoderina ho an'ny avo lenta. mari-pana, hery avo, tsindry avo, matetika avo sy ny taratra fanoherana sy ny toe-javatra henjana hafa. Manana vinavina fampiharana manan-danja eo amin'ny sehatry ny fiarovana nasionaly, fiaramanidina, aerospace, fitrandrahana solika, fitehirizana optika, sns., ary mety hampihena ny fatiantoka angovo mihoatra ny 50% amin'ny indostria stratejika maro toy ny fifandraisana broadband, angovo avy amin'ny masoandro, famokarana fiara, jiro semiconductor, ary smart grid, ary afaka mampihena ny habetsaky ny fitaovana mihoatra ny 75%, izay manan-danja lehibe amin'ny fampandrosoana ny siansa sy ny teknolojia olombelona.
Ny angovo Semicera dia afaka manome ny mpanjifa amin'ny Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) silikon carbide substrate; Ankoatra izany, dia afaka manome mpanjifa homogeneous sy heterogeneous silicone carbide epitaxial sheets; Azontsika atao ihany koa ny mampifanaraka ny takelaka epitaxial araka ny filan'ny mpanjifa manokana, ary tsy misy ny habetsaky ny baiko ambany indrindra.
WAFERING SPECIFICATIONS
*n-Pm=n-karazana Pm-Grade,n-Ps=n-karazana Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating
| zavatra | 8-inch | 6-inch | 4-inch | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Bow(GF3YFCD)-Sanda tanteraka | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
| Wafer Edge | Beveling | ||||
FINITANA EO AVY
*n-Pm=n-karazana Pm-Grade,n-Ps=n-karazana Ps-Grade,Sl=Semi-Insulating
| ltem | 8-inch | 6-inch | 4-inch | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Surface vita | Polisy Optical lafiny roa, Si- Face CMP | ||||
| SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Face Ra≤ 0.5nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Face Ra≤0.5nm | |||
| Edge Chips | Tsy mahazo alalana (lavany sy sakany≥0.5mm) | ||||
| Indents | Tsy misy navela | ||||
| Karazana (Si-Face) | Qty.≤5, Mitambatra Length≤0.5×wafer savaivony | Qty.≤5, Mitambatra Length≤0.5×wafer savaivony | Qty.≤5, Mitambatra Length≤0.5×wafer savaivony | ||
| triatra | Tsy misy navela | ||||
| Edge Exclusion | 3mm | ||||
