Ny 6 ″ Wafer Carrier ho an'ny Aixtron G5 avy amin'i Semicera dia natao hamenoana ny fepetra takian'ny fizotry ny fitomboan'ny epitaxial amin'ny rafitra Aixtron G5. Namboarina tamin'ny graphite avo lenta, itympitatitra ovymiantoka ny fitoniana sy ny fitoniana mandritra nyCVDSYMOCVD dingana, mamela ny fametrahana mazava tsara ao amin'ny epi reactor.
Miaraka amin'ny asilisiôma carbide seramikacoating, ny Wafer Carrier 6" ho an'ny Aixtron G5 dia manome faharetana sy fanoherana mafana, ka mahatonga azy io ho tsara amin'ny fampiharana amin'ny hafanana avo amin'ny fitomboan'ny epitaxial. Ity vokatra ity dia natao hanohanana fahombiazanamofo manifyfitantanana sy fampitomboana ny fahombiazan'ny famokarana semiconductor.
Ao amin'ny Semicera, mifantoka amin'ny fanomezana vahaolana ambony indrindra ho an'ny indostrian'ny semiconductor izahay. Ny mpitatitra wafer dia naorina ho azo itokisana, miantoka ny fampandehanana milamina amin'ny rafitra Aixtron G5 sy ny hafaCVD epitaxyreactors. Na miasa miaraka amin'ny karbida silisiôna na fitaovana hafa ianao, ity mpitatitra wafer ity dia miantoka ny fahitsiana sy ny tsy fitoviana ilaina amin'ny famokarana semiconductor mandroso.
Lafin-javatra fototra:
• Optimized ho an'ny rafitra Aixtron G5 sy CVD MOCVD reactors hafa.
• Susceptor graphite avo lenta miaraka amin'ny coating seramika silisiôma karbida ho an'ny faharetana kokoa.
• Tena tsara ho an'ny fizotry ny fitomboan'ny epitaxial izay mitaky fahamendrehana sy fahamarinan-toerana mafana.
• Fikarakarana wafer azo itokisana amin'ny tontolo semiconductor sarotra.
Semicera dia natokana amin'ny fanomezana vahaolana faran'izay haingana, miantoka fa ny Wafer Carrier 6'' tsirairay dia mahafeno ny fenitra avo indrindra amin'ny filanao epitaxy.