Peratra SiC CVD betsaka

Famaritana fohy:

Ny peratra CVD SiC betsaka dia mampiasa entona loharano silisiôma (toy ny hydride silisiôna) sy entona loharano karbaona (toy ny metanina) ho akora fototra, mihetsika amin'ny hafanana avo mba hametrahana fitaovana SiC lehibe amin'ny substrate na lasitra. Ity dingana ity dia ahafahan'ny SiC apetraka mitovy amin'ny faritra midadasika, mamorona rafitra peratra matanjaka sy tsy miovaova.

Alefaso mailaka aminay

Product Detail

Tags vokatra

Nahoana no Silicon Carbide Etching Ring?

RTPCVD SiC peratradia ampiasaina betsaka amin'ny sehatra indostrialy sy siantifika amin'ny hafanana ambony sy ny tontolo manimba. Izy io dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny famokarana semiconductor, optoelectronics, milina fanodinana ary indostrian'ny simika. Ny fampiharana manokana dia ahitana:

1. Famokarana semiconductor:RTP CVD SiC peratraazo ampiasaina amin'ny fanafanana sy ny fampangatsiahana ny semiconductor fitaovana, manome marin-toerana fanaraha-maso ny mari-pana sy miantoka ny marina sy ny tsy miovaova ny dingana.

2. Optoelectronics: Noho ny conductivity mafana tsara sy ny fanoherana ny hafanana ambony, RTPCVD SiC peratraazo ampiasaina ho fitaovana fanohanana sy fanalefahana ny hafanana ho an'ny laser, fibre optic fitaovana fifandraisana sy Optical singa.

3. Masinina mazava tsara: Ny peratra RTP CVD SiC dia azo ampiasaina amin'ny fitaovana sy fitaovana amin'ny hafanana avo sy ny tontolo manimba, toy ny lafaoro avo lenta, fitaovana vacuum ary reactors simika.

4. Indostria simika: Noho ny fanoherana ny harafesiny sy ny fahamarinan-toerana simika, ny peratra RTP CVD SiC dia azo ampiasaina amin'ny fitoeran-javatra, fantsona ary reactors amin'ny fanehoan-kevitra simika sy ny fizotran'ny catalytic.

Epi System

RTP System

CVD System

Fampisehoana vokatra:

1. Hihaona amin'ny dingana ambany 28nm

2. Super harafesiny fanoherana

3. Fampisehoana tena madio

4. Super mafy

5. High density

6. Avo fanoherana ny hafanana

7. Manao fanoherana

Fampiharana vokatra:

Ny fitaovana silicone carbide dia manana ny toetran'ny hamafin'ny avo, ny fanoherana ny akanjo, ny fanoherana ny harafesina ary ny fahamarinan-toerana avo lenta. Ny vokatra amin'ny fampisehoana feno tsara dia be mpampiasa amin'ny etching maina sy TF / Diffusion dingana.