SiC Carrier/Susceptor madio tsara

Famaritana fohy:

Silicon carbide mitondra kapila dia fantatra ihany koa amin'ny SIC lovia, silisiôma carbide etching kapila, ICP etching kapila. Silicon carbide lovia ho an'ny LED etching (SiC lovia) φ600mm dia fitaovana manokana ho an'ny lalina silisiôma etching (ICP etching machine).

Alefaso mailaka aminay

Product Detail

Tags vokatra

Description

Ny seramika silikon karbida dia manana toetra mekanika tsara amin'ny mari-pana amin'ny efitrano, toy ny tanjaka avo, ny hamafin'ny avo, ny modulus elastika avo, sns., Izy io koa dia manana fahamarinan-toerana tsara amin'ny hafanana toy ny conductivity mafana avo, ny fanitarana ny hafanana ambany, ary ny stiffness manokana sy ny Optical. fanatanterahana ny fanodinana.
Izy ireo dia mety indrindra amin'ny famokarana ampahany vita amin'ny seramika ho an'ny fitaovana mitambatra toy ny milina lithography, indrindra ampiasaina amin'ny fanamboarana ny SiC carrier / susceptor, sambo SiC wafer, kapila mitsentsitra, takelaka fampangatsiahana rano, reflektera fandrefesana mazava tsara, grating ary ampahany ara-drafitra seramika hafa.

mpitatitra2

mpitatitra3

mpitatitra4

tombony

Ny fanoherana ny mari-pana ambony: fampiasana mahazatra amin'ny 1800 ℃
Conductivity mafana mafana: mitovy amin'ny fitaovana graphite
Ny hamafin'ny avo: ny hamafin'ny faharoa ihany ny diamondra, boron nitride
Ny fanoherana ny harafesina: asidra mahery sy alkali dia tsy misy harafesina aminy, ny fanoherana ny harafesina dia tsara kokoa noho ny tungstène carbide sy alumina
Maivana lanja: ambany hakitroky, akaikin'ny aluminium
Tsy misy deformation: ambany coefficient ny fanitarana mafana
Ny fanoherana ny fahatafintohinana mafana: mahatanty fiovaovan'ny mari-pana maranitra, manohitra ny fahatafintohinana mafana, ary manana fampisehoana maharitra
Silicon carbide carrier toy ny sic etching carrier, ICP etching susceptor, dia be mpampiasa amin'ny semiconductor CVD, vacuum sputtering sns.

tombony

NY FANANANA	sarobidy	FOMBA
hakitroky	3,21 g/cc	Sink-mitsingevana sy ny refy
hafanana manokana	0,66 J/g °K	Flash tamin'ny laser Pulsed
Hery flexural	450 MPa 560 MPa	4 teboka fiolahana, RT4 teboka fiolahana, 1300°
Ny hamafin'ny tapaka	2,94 MPa m1/2	Microindentation
hamafin'ny	2800	Vicker's, entana 500g
Elastic Modulus Young's Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt fiolahana, RT4 pt fiondrika, 1300 °C
Haben'ny voa	2 – 10 µm	SEM

Piraofilin'ny orinasa

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. dia mpamatsy seramika semiconductor mandroso ary hany mpanamboatra any Shina izay afaka manome seramika karbida silisiôma madio tsara (indrindra ny SiC Recrystallized) sy ny coating CVD SiC. Ankoatr'izay, ny orinasanay dia manolo-tena amin'ny sehatra seramika toy ny alumina, aluminium nitride, zirconia, ary silisiôma nitride, sns.

Ny vokatra lehibe indrindra ao anatin'izany: silisiôma carbide etching disc, silisiôma carbide sambo tow, silisiôma carbide wafer sambo (Photovoltaic & Semiconductor), silisiôma carbide lafaoro fantsona, silisiôma carbide cantilever fivoy, silisiôma carbide Chucks, silisiôma carbide andry, ary koa ny CVD SiC coating sy TaC coating. Ny vokatra ampiasaina indrindra amin'ny indostrian'ny semiconductor sy photovoltaic, toy ny fitaovana ho an'ny fitomboan'ny kristaly, epitaxy, etching, fonosana, coating sy diffusion furnaces, sns.
momba (2)