SEMICERA isostatic PECVD graphite boat dia vokatra grafita avo lenta sy avo lenta natao ho an'ny fanohanan'ny wafer amin'ny fizotran'ny PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). SEMICERA dia mampiasa teknôlôjia fanerena isostatic mandroso mba hahazoana antoka fa ny sambo graphite dia manana fanoherana avo lenta, fanoherana ny harafesina, fitoniana amin'ny refy ary conductivity mafana tsara, izay tsy maintsy ampiasaina amin'ny fizotran'ny famokarana semiconductor.
Ny sambo graphite SEMICERA isostatic PECVD dia manana tombony manaraka:
▪ Fahadiovana avo lenta: Ny akora grafita dia manana fahadiovana ambony ary tsy misy loto ambany mba hisorohana ny fandotoana ny eny ambonin'ny wafer.
▪ Hafanana avo: Haavo avo, hery mekanika avo lenta, mahatanty hafanana ambony sy tontolo iainana tsy misy rivotra.
▪ Filaminana tsara: Fiovana kely amin'ny mari-pana ambony mba hiantohana ny fahamarinan'ny fizotrany.
▪ Fitondrana mafana tsara: Mamindra hafanana tsara mba hisorohana ny hafanana be loatra.
▪ Mahatohitra harafesina matanjaka: Mahatohitra ny erosiation avy amin'ny entona manimba isan-karazany sy ny plasma.
Parameter fampisehoana | semicera | Sary SGL R6510 | Parameter fampisehoana |
Haavo betsaka (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
Hery miforitra (MPa) | 63 | 60 | 49 |
Hery fanerena (MPa) | 135 | 130 | 103 |
Hamafin'ny morontsiraka (HS) | 70 | 64 | 60 |
Coefficient ny fanitarana mafana(10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
Coefficient ny fanitarana mafana(10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
Resistivity (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
Tombontsoa amin'ny fisafidianana anay:
▪ Fifantenana fitaovana: Ny fitaovana vita amin'ny grafita madio indrindra no ampiasaina mba hiantohana ny kalitaon'ny vokatra.
▪ Teknolojia fanodinana: Ny fanerena isostatic dia ampiasaina mba hiantohana ny hakitroky ny vokatra sy ny fitoviana.
▪ Fanamboarana habe: Ny sambo grafita samy hafa habe sy endrika dia azo amboarina araka ny filan'ny mpanjifa.
▪ Fitsaboana ambonin'ny tany: Misy fomba fitsaboana isan-karazany omena, toy ny fametahana silisiôma karbida, boron nitride, sns., mba hahafeno ny fepetra takian'ny dingana samihafa.