Dingana antsipirihan'ny famokarana semiconductor wafer silisiôma

640

Voalohany, asio polycrystalline silisiôma sy dopants ao amin'ny quartz crucible ao amin'ny lafaoro kristaly tokana, atsangano ny mari-pana ho 1000 degre mahery, ary mahazo silisiôla polycrystalline amin'ny fanjakana mitsonika.

640 (1)

Ny fitomboan'ny ingot silikon dia dingana iray amin'ny fanaovana silisiôma polycrystalline ho silisiôna kristaly tokana. Rehefa avy nafanaina tao anaty rano ny silisiôna polycrystalline, dia voafehy tsara ny tontolo mafana mba hitombo ho kristaly tokana avo lenta.

Hevitra mifandraika:
Fitomboan'ny kristaly tokana:Aorian'ny fiorenan'ny mari-pana amin'ny vahaolana silisiôma polycrystalline, ny kristaly voa dia ampidinina tsikelikely ao amin'ny levona silisiôma (ny voa kristaly dia ho levona ao amin'ny silisiôna koa), ary avy eo ny kristaly voa dia atsangana amin'ny hafainganam-pandeha iray ho an'ny famafazana. dingana. Avy eo, esorina amin'ny alalan'ny fandidiana tenda ny dislocations ateraky ny famafazana. Rehefa mihena ny tendany amin'ny halavany ampy, ny savaivony ny silisiôma kristaly tokana dia lehibe kokoa amin'ny sandan'ny kendrena amin'ny alàlan'ny fanitsiana ny hafainganam-pandeha sy ny mari-pana, ary avy eo dia tazonina ny savaivony mitovy amin'ny halavany. Farany, mba hisorohana ny fihemorana tsy hihemotra, ny ingot kristaly tokana dia vita mba hahazoana ilay ingot kristaly tokana vita, ary avy eo dia esorina izany rehefa mangatsiaka ny mari-pana.

Fomba fanomanana silisiôma kristaly tokana:Fomba CZ sy fomba FZ. Ny fomba CZ dia nohafohezina hoe fomba CZ. Ny toetra mampiavaka ny fomba CZ dia ny famintinana azy amin'ny rafitra mafana cylinder mahitsy, amin'ny fampiasana fanafanana fanoherana ny grafit mba handrefesana ny silisiôna polycrystalline ao anaty vilia quartz madio tsara, ary avy eo ampidiro ny kristaly voa ao amin'ny faritra miempo ho an'ny welding, ary manodinkodina ny krystaly voa, ary avy eo mamadika ny koba. Ny kristaly voa dia atsangana miakatra tsikelikely, ary aorian'ny fizotran'ny famafazana, ny fanitarana, ny fihodinan'ny soroka, ny fitomboan'ny savaivony ary ny tailing, dia azo avy amin'ny silisiôma kristaly tokana.

Ny fomba fandoroana faritra dia fomba iray amin'ny fampiasana ingots polycrystalline mba handrendrehana sy hametahana kristaly semiconductor amin'ny faritra samihafa. Ny angovo mafana dia ampiasaina mba hamoronana faritra mitsonika amin'ny tendrony iray amin'ny tsorakazo semiconductor, ary avy eo ny kristaly voa kristaly tokana dia welded. Ny mari-pana dia amboarina mba hahatonga ny faritra mitsonika tsikelikely mankany amin'ny tendrony hafa amin'ny tsorakazo, ary amin'ny alàlan'ny tsorakazo iray manontolo dia mitombo ny kristaly tokana, ary ny fiorenan'ny kristaly dia mitovy amin'ny an'ny kristaly voa. Ny fomba fandoroana faritra dia mizara ho karazany roa: fomba fandoroana faritra marindrano sy fomba fandoroana faritra fampiatoana mitsangana. Ny voalohany dia ampiasaina indrindra amin'ny fanadiovana sy ny fitomboan'ny kristaly tokana toy ny germanium sy GaAs. Ity farany dia ny fampiasana coil avo lenta amin'ny atmosfera na lafaoro banga mba hamoronana faritra voarendrika eo amin'ny fifandraisana misy eo amin'ny kristaly voa kristaly tokana sy ny tsorakazo silisiôna polycrystalline mihantona eo amboniny, ary avy eo dia mamindra ny faritra voarendrika miakatra mba hitombo tokana. kristaly.

Manodidina ny 85% amin'ny wafer silisiôma no novokarin'ny fomba Czochralski, ary ny 15% amin'ny wafer silisiôma dia novokarin'ny fomba fandoroana faritra. Araka ny fampiharana, ny silisiôma kristaly tokana novolavolain'ny fomba Czochralski dia ampiasaina indrindra amin'ny famokarana singa mitambatra, raha ny silisiôma kristaly tokana novolavolain'ny fomba fandoroana faritra dia ampiasaina indrindra amin'ny semiconductor herinaratra. Ny fomba Czochralski dia manana dingana matotra ary mora kokoa ny mampitombo silisiôma kristaly tokana misy savaivony; Ny fomba fandoroana faritra dia tsy mifandray amin'ny kaontenera, tsy mora voaloto, manana fahadiovana ambony kokoa, ary mety amin'ny famokarana fitaovana elektronika mahery vaika, fa sarotra kokoa ny mampitombo silisiôma kristaly tokana misy savaivony, ary amin'ny ankapobeny dia ampiasaina amin'ny savaivony 8 santimetatra na latsaka. Ny lahatsary dia mampiseho ny fomba Czochralski.

640 (2)

Noho ny fahasarotana amin'ny fanaraha-maso ny savaivony ny tokan-tena kristaly silisiôma tsorakazo eo amin'ny dingan'ny misintona ny tokana kristaly, mba hahazoana silisiôma tsorakazo ny savaivony fitsipika, toy ny 6 santimetatra, 8 santimetatra, 12 santimetatra, sns Rehefa avy nisintona ny tokana kristaly, ny savaivony ny silisiôma ingot ho nanakodia sy ny tany. Ny endrik'ilay tsorakazo silisiôma aorian'ny fihodinana dia malama ary ny fahadisoana habe dia kely kokoa.

640 (3)

Amin'ny fampiasana ny teknolojia fanapahana tariby mandroso, ny ingot kristaly tokana dia tapaka ho ovy silisiôma amin'ny hateviny mety amin'ny alàlan'ny fitaovana fanosihosena.

640 (4)

Noho ny hatevin'ny kely ny savaivony silisiôma, ny sisin'ny savaivony silisiôma aorian'ny fanapahana dia tena maranitra. Ny tanjon'ny fikosoham-bary dia ny mamorona sisiny malefaka ary tsy mora ny manapaka amin'ny famokarana chip ho avy.

640 (6)

Ny LAPPING dia ny manampy ny wafer eo anelanelan'ny takela-pandrefesana mavesatra sy ny takelaka kristaly ambany, ary mampihatra tsindry sy mihodina amin'ny abrasive mba hahatonga ny wafer ho fisaka.

640 (5)

Ny etching dia dingana iray hanesorana ny fahasimbana amin'ny ovy, ary ny sosona ambonin'ny simba noho ny fanodinana ara-batana dia levona amin'ny vahaolana simika.

640 (8)

Ny fikosoham-bary roa sosona dia dingana atao mba hahatonga ny wafer ho fisaka sy hanesorana ireo tsipoapoaka kely eny ambonin'ny tany.

640 (7)

Ny RTP dia dingana iray amin'ny famafazana haingana ny wafer ao anatin'ny segondra vitsy, mba hanamafisana ny lesoka anatiny amin'ny wafer, ny loton'ny metaly dia voasakana, ary voasoroka ny fiasan'ny semiconductor.

640 (11)

Ny famolahana dia dingana iray izay miantoka ny fahalalam-pomba amin'ny alàlan'ny fametahana mazava tsara. Ny fampiasana ny slurry sy ny lamba fikosoham-bary, miaraka amin'ny mari-pana mety, ny tsindry ary ny hafainganam-pandehan'ny fihodinana, dia afaka manafoana ny sosona fahasimbana ara-mekanika tavela tamin'ny dingana teo aloha ary mahazo wafers silisiôma miaraka amin'ny fisaka tsara indrindra.

640 (9)

Ny tanjon'ny fanadiovana dia ny hanesorana ny zavatra organika, ny poti-by, ny metaly, sns. sisa tavela eo amin'ny tampon'ny silisiôma aorian'ny famolahana, mba hiantohana ny fahadiovan'ny tavy silisiôma ary mahafeno ny fepetra takian'ny dingana manaraka.

640 (10)

Ny tester flatness & resistivity dia mahita ny wafer silisiôma aorian'ny famolahana sy ny fanadiovana mba hahazoana antoka fa ny hateviny, ny fisaka, ny fisaka eo an-toerana, ny curvature, ny warpage, ny resistivity, sns.

640 (12)

Ny fanisana PARTICLE dia dingana iray amin'ny fitsirihana tsara ny endrik'ilay wafer, ary ny lesoka sy ny habeny dia voafaritra amin'ny alàlan'ny fanaparitahana laser.

640 (14)

Ny EPI GROWING dia dingana iray amin'ny fampitomboana sarimihetsika kristaly tokana silika avo lenta amin'ny wafer silisiôma voapoizina amin'ny alàlan'ny fandotoana simika misy etona.

Hevitra mifandraika:Fitomboan'ny epitaxial: manondro ny fitomboan'ny sosona kristaly tokana miaraka amin'ny fepetra sasany ary mitovy amin'ny orientation kristaly amin'ny substrate amin'ny substrate kristaly tokana (substrate), toy ny kristaly tany am-boalohany miitatra mivoaka ho an'ny fizarana iray. Ny teknolojia fitomboana epitaxial dia novolavolaina tamin'ny faramparan'ny taona 1950 sy ny fiandohan'ny taona 1960. Tamin'izany fotoana izany, mba hamokarana fitaovana avo lenta sy avo lenta, dia ilaina ny mampihena ny fanoherana andian-dahatsoratra, ary ny fitaovana dia takiana mba hanohitra malefaka sy avo amin'izao fotoana izao, noho izany dia ilaina ny mampitombo ny manify avo- sosona epitaxial fanoherana amin'ny substrate ambany fanoherana. Ny sosona kristaly tokana vaovao mitombo epitaxially dia mety tsy mitovy amin'ny substrate amin'ny resaka karazana conductivity, resistivity, sns., Ary ny kristaly tokana misy sosona maromaro amin'ny hateviny sy fepetra samihafa dia azo ampitomboina ihany koa, ka manatsara ny fahaizan'ny famolavolana fitaovana sy ny ny fahombiazan'ny fitaovana.

640 (13)

Ny fonosana dia ny famenoana ny vokatra mahafeno fepetra farany.


Fotoana fandefasana: Nov-05-2024