Amin'ny fitaovana etching plasma, ny singa seramika dia manana anjara toerana lehibe, anisan'izany nyperatra mifantoka.ny peratra mifantoka, napetraka manodidina ny wafer ary mifandray mivantana aminy, dia tena ilaina amin'ny fifantohana ny plasma amin'ny wafer amin'ny alàlan'ny fametahana ny voltase amin'ny peratra. Izany dia mampitombo ny fitovian'ny dingan'ny etching.
Fampiharana ny SiC Focus Rings amin'ny Etching Machines
SiC CVD singaamin'ny milina etching, toy nyperatra mifantoka, fandroana gasy, platens, ary peratra sisiny, dia ankasitrahana noho ny tsy fihetsehan'ny SiC amin'ny gazy etsa misy chlorine sy fluorine ary ny conductivity azy, ka mahatonga azy io ho fitaovana tsara indrindra ho an'ny fitaovana etching plasma.
Tombontsoa amin'ny SiC amin'ny maha-fitaovana Focus Ring
Noho ny fihanaky mivantana amin'ny plasma ao amin'ny efitrano fanehoan-kevitra banga, ny peratra fifantohana dia mila atao amin'ny fitaovana mahatohitra plasma. Ny peratra fifantohana nentim-paharazana, vita amin'ny silisiôma na quartz, dia mijaly amin'ny fanoherana ny etching amin'ny plasma mifototra amin'ny fluorine, izay mitarika amin'ny harafesina haingana sy ny fihenan'ny fahombiazany.
Fampitahana eo amin'ny Si sy CVD SiC Focus Rings:
1. Haavo kokoa:Mampihena ny habetsaky ny etching.
2. Fehezan-davitra midadasika: Manome insulation tsara.
3. Fitondran-tena mafana sy ambany fanitarana Coefficient: Mahatohitra ny hafanana mafana.
4. Elasticity avo:Ny fanoherana tsara amin'ny fiantraikany mekanika.
5. Hatezerana avo: Ny akanjo sy ny harafesina.
Ny SiC dia mizara ny conductivity elektrika amin'ny silisiôma ary manolotra fanoherana ambony kokoa amin'ny etching ionic. Rehefa mandroso ny miniaturization circuit integrated, dia mitombo ny fitakiana ny fizotran'ny etching mahomby kokoa. Ny fitaovana etching Plasma, indrindra fa ireo mampiasa capacitive coupled plasma (CCP), dia mitaky angovo plasma avo, fanaovanaSiC focus ringsmiha-malaza.
Si sy CVD SiC Focus Ring Parameters:
| fikirana | Silicon (Si) | CVD Silicon Carbide (SiC) |
| Hateza (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Fitondrana mafana (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Coefficient fanitarana mafana (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Modulus elastika (GPa) | 150 | 440 |
| hamafin'ny | Ambany | ambony |
Fomba fanamboarana ny SiC Focus Rings
Amin'ny fitaovana semiconductor, CVD (Chemical Vapor Deposition) dia matetika ampiasaina amin'ny famokarana singa SiC. Ny peratra fifantohana dia amboarina amin'ny fametrahana ny SiC amin'ny endrika manokana amin'ny alàlan'ny fametrahana etona, arahin'ny fanodinana mekanika mba hamoronana ny vokatra farany. Ny tahan'ny akora ho an'ny fametrahana etona dia raikitra aorian'ny andrana mivelatra, ka mahatonga ny masontsivana toy ny resistivity tsy miovaova. Na izany aza, ny fitaovana etching samy hafa dia mety mitaky fifantohana peratra amin'ny isan-karazany resistivity, mila andrana vaovao tahan'ny fitaovana isaky ny fepetra arahana, izay mandany fotoana sy lafo.
Amin'ny fisafidiananaSiC focus ringsFromSemicera Semiconductor, ny mpanjifa dia afaka mahazo tombony amin'ny tsingerin'ny fanoloana lava kokoa sy ny fampisehoana ambony tsy misy fisondrotana be amin'ny vidiny.
Ireo singa fanodinana hafanana haingana (RTP).
Ny fananana hafanana miavaka an'ny CVD SiC dia mahatonga azy ho tonga lafatra amin'ny fampiharana RTP. Ny singa RTP, anisan'izany ny peratra sisiny sy ny takelaka, dia mahazo tombony amin'ny CVD SiC. Mandritra ny RTP, dia mipetaka amin'ny wafer tsirairay mandritra ny fotoana fohy ny fiposahan'ny hafanana mahery, arahin'ny fampangatsiahana haingana. Ny peratra sisiny CVD SiC, manify ary manana faobe mafana ambany, dia tsy mitazona hafanana lehibe, ka mahatonga azy ireo tsy hisy fiantraikany amin'ny fizotran'ny hafanana sy ny fampangatsiahana haingana.
Plasma Etching Components
Ny fanoherana simika avo lenta an'ny CVD SiC dia mahatonga azy ho mety amin'ny fampiharana etching. Efitrano etching maro no mampiasa takelaka fizarana entona CVD SiC mba hizarana entona etsa, misy lavaka kely an'arivony ho an'ny fiparitahan'ny plasma. Raha ampitahaina amin'ny fitaovana hafa, ny CVD SiC dia manana fihetsika ambany kokoa amin'ny gazy chlorine sy fluorine. Amin'ny etching maina, ny singa CVD SiC toy ny peratra fifantohana, takelaka ICP, peratra sisin-tany, ary ny fandroana dia matetika ampiasaina.
Ny peratra fifantohana SiC, miaraka amin'ny voltase ampiharina amin'ny fifantohana plasma, dia tsy maintsy manana conductivity ampy. Amin'ny ankapobeny dia vita amin'ny silisiôma, ny peratra mifantoka dia mibaribary amin'ny entona mihetsiketsika misy fluorine sy chlorine, mitarika amin'ny harafesina tsy azo ihodivirana. Ny peratra mifantoka amin'ny SiC, miaraka amin'ny fanoherana ny harafesiny ambony, dia manome fiainana lava kokoa raha oharina amin'ny peratra silisiôna.
Fampitahana amin'ny fiainana andavanandro:
· SiC Focus Rings:Soloina isaky ny 15 na 20 andro.
· Silicon Focus Rings:Soloina isaky ny 10 na 12 andro.
Na dia eo aza ny vidin'ny peratra SiC 2 ka hatramin'ny 3 heny noho ny peratra silisiôma, ny tsingerin'ny fanoloana maharitra dia mampihena ny vidin'ny fanoloana singa amin'ny ankapobeny, satria ny kojakoja fitafy rehetra ao amin'ny efitrano dia soloina miaraka rehefa misokatra ny efitrano ho an'ny fanoloana peratra mifantoka.
Semicera Semiconductor's SiC Focus Rings
Semicera Semiconductor dia manolotra peratra mifantoka amin'ny SiC amin'ny vidiny akaiky ny an'ny peratra silisiôma, miaraka amin'ny fotoana maharitra eo amin'ny 30 andro. Amin'ny fampidirana ny peratra mifantoka amin'ny Semicera's SiC amin'ny fitaovana etching plasma, dia mihatsara be ny fahombiazana sy ny faharetana, mampihena ny vidin'ny fikojakojana amin'ny ankapobeny ary manatsara ny fahombiazan'ny famokarana. Fanampin'izany, Semicera dia afaka mampifanaraka ny fanoherana ny peratra fifantohana mba hahafeno ny fepetra takian'ny mpanjifa.
Amin'ny alàlan'ny fisafidianana ny peratra mifantoka amin'ny SiC avy amin'ny Semicera Semiconductor, ny mpanjifa dia afaka mahazo tombony amin'ny tsingerina fanoloana lava kokoa sy ny fampisehoana ambony tsy misy fiakarana be amin'ny vidiny.
Fotoana fandefasana: Jul-10-2024