FIZARANA/1
Fomba CVD (Chemical Vapor Deposition):
Amin'ny 900-2300 ℃, mampiasa TaCl5ary CnHm ho loharano tantalum sy karbôna, H₂ ho atmosfera fampihenana, entona mitondra Ar₂as, horonan-tsarimihetsika fanehoan-kevitra. Ny coating voaomana dia compact, fanamiana ary fahadiovana avo. Na izany aza, misy ny olana sasany toy ny dingana sarotra, ny vidiny lafo, ny fanaraha-maso ny rivotra sarotra ary ny fahombiazan'ny fametrahana ambany.
FIZARANA/2
Slurry fomba sintering:
Ny slurry misy loharano karbônina, loharano tantalum, dispersant ary binder dia voasarona amin'ny graphite ary sinterina amin'ny hafanana ambony rehefa avy maina. Ny coating voaomana dia mitombo tsy misy orientation mahazatra, manana vidiny ambany ary mety amin'ny famokarana lehibe. Mbola hojerena izany mba hahazoana fanamiana sy feno amin'ny graphite lehibe, hanafoana ny lesoka fanohanana ary hanatsara ny hery fatorana coating.
FIZARANA/3
Plasma famafazana fomba:
Ny vovon-tsavony TaC dia levon'ny arc plasma amin'ny mari-pana ambony, atao atôma amin'ny ranon-tsavony avo lenta amin'ny alàlan'ny fiaramanidina haingam-pandeha, ary atsipy eo ambonin'ny fitaovana grafita. Mora ny mamorona sosona oksizenina eo ambanin'ny tsy banga, ary lehibe ny fanjifana angovo.
Sary . Wafer lovia aorian'ny fampiasana amin'ny fitaovana MOCVD mitombo epitaxial GaN (Veeco P75). Ny eo ankavia dia voasaron'ny TaC ary ny eo ankavanana dia misy SiC.
TaC coatedmila vahana ny ampahany grafita
FIZARANA/1
Hery mamatotra:
Ny hafanana fanitarana ny hafanana sy ny fananana ara-batana hafa eo amin'ny TaC sy ny fitaovana karbaona dia tsy mitovy, ny tanjaky ny fatorana coating dia ambany, sarotra ny misoroka ny triatra, ny pores ary ny adin-tsaina mafana, ary ny coating dia mora esorina ao amin'ny atmosfera misy lo sy miverimberina miakatra sy mangatsiaka dingana.
FIZARANA/2
Fahadiovana:
TaC coatingIlaina ny fahadiovana faran'izay avo mba hisorohana ny loto sy ny loto ao anatin'ny toe-piainana ambony, ary ny fenitry ny votoaty mahomby sy ny fenitry ny toetran'ny karbônina maimaim-poana sy ny loto anaty eny ambonin'ny tany sy ny ao anatiny dia mila mifanaraka.
FIZARANA/3
fahamarinan-toerana:
Ny fanoherana ny hafanana ambony sy ny fanoherana ny atmosfera simika mihoatra ny 2300 ℃ no famantarana manan-danja indrindra hitsapana ny fahamarinan'ny coating. Ny pinholes, ny triatra, ny zorony tsy hita, ary ny sisin'ny voam-bary miohatra tokana dia mora mahatonga ny entona manimba hiditra sy hiditra ao amin'ny graphite, ka miteraka tsy fahombiazan'ny fiarovana ny coating.
FIZARANA/4
Oxidation fanoherana:
Ny TaC dia manomboka mihodinkodina amin'ny Ta2O5 rehefa mihoatra ny 500 ℃, ary mitombo be ny tahan'ny oxidation miaraka amin'ny fitomboan'ny hafanana sy ny oksizenina. Ny oxidation ambonin'ny tany dia manomboka amin'ny sisin'ny voa sy ny voa madinika, ary mamorona tsikelikely tsanganana kristaly sy ny tapaka kristaly, niteraka maro ny banga sy ny lavaka, ary ny oksizenina infiltration nihamafy mandra-mifono ny coating. Ny sosona oksida vokatr'izany dia manana conductivity mafana sy loko isan-karazany amin'ny endriny.
FIZARANA/5
Uniformity sy roughness:
Ny fizarazarana tsy mitovy amin'ny velaran'ny coating dia mety hitarika amin'ny fifantohana amin'ny adin-tsaina mafana eo an-toerana, mampitombo ny mety hisian'ny fitifirana sy ny fikapohana. Fanampin'izany, ny habetsan'ny ety ivelany dia misy fiantraikany mivantana amin'ny fifandraisana misy eo amin'ny coating sy ny tontolo ivelany, ary ny roughness avo loatra dia mitarika ho amin'ny fitomboan'ny friction amin'ny wafer sy ny saha mafana tsy mitovy.
FIZARANA/6
Haben'ny voa:
Ny haben'ny voamaina fanamiana dia manampy amin'ny fahamarinan'ny coating. Raha kely ny haben'ny voa, dia tsy henjana ny fatorana, ary mora ny oxidized sy ny harafesina, ka miteraka triatra sy lavaka be eo amin'ny sisin'ny voa, izay mampihena ny fiarovana ny fiarovana ny coating. Raha lehibe loatra ny haben'ny varimbazaha, dia somary manjavozavo izy io, ary mora mipoitra eo ambanin'ny fihenjanana mafana ny coating.
Fotoana fandefasana: Mar-05-2024