2. Fomba andrana
2.1 Fanasitranana ny sarimihetsika adhesive
Tsikaritra fa ny famoronana mivantana sarimihetsika karbônina na fatorana amin'ny taratasy grafitaSiC wafersnifono adhesive niteraka olana maro:
1. Amin'ny toe-javatra banga, ny adhesive sarimihetsika eoSiC wafersNamorona endrika mizana noho ny famotsorana rivotra lehibe, ka nahatonga ny porosity ambonin'ny tany. Izany dia nanakana ny sosona adhesive tsy hifamatotra araka ny tokony ho izy taorian'ny carbonization.
2. Nandritra ny fifamatorana, nymofo manifytsy maintsy apetraka eo amin'ny taratasy grafita indray mandeha. Raha mitranga ny fanovana toerana, ny tsindry tsy mitovy dia mety hampihena ny fitovian'ny adhesive, ary hisy fiantraikany ratsy amin'ny kalitaon'ny fatorana.
3. Amin'ny fampandehanana banga, ny famotsorana ny rivotra avy amin'ny sosona adhesive dia niteraka peeling sy fiforonan'ny banga maro ao anatin'ilay sarimihetsika adhesive, ka niteraka lesoka mifamatotra. Mba hamahana ireo olana ireo, alohan'ny fanamainana ny adhesive amin'nyny waferfamatorana ambonin'ny mampiasa takelaka mafana aorian'ny spin-coating no soso-kevitra.
2.2 Fizotry ny Carbonization
Ny dingan'ny famoronana sarimihetsika karbona amin'nySiC voany ovyary ny famatorana azy amin'ny taratasy grafita dia mitaky karbônina ny sosona adhesive amin'ny mari-pana manokana mba hiantohana ny fifamatorana mafy. Ny tsy fahampian'ny karbônina amin'ny sosona adhesive dia mety hitarika amin'ny fanimbana azy mandritra ny fitomboana, mamoaka loto izay misy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny fitomboan'ny kristaly. Noho izany, ny fiantohana tanteraka ny karbônina amin'ny sosona adhesive dia tena ilaina amin'ny fatorana avo lenta. Ity fanadihadiana ity dia mandinika ny fiantraikan'ny mari-pana amin'ny fametahana karbônina. Nisy sosona photoresist fanamiana napetraka tamin'nymofo manifyambonin'ny tany ary apetraka ao anaty lafaoro fantsona ambanin'ny vacuum (<10 Pa). Nampiakatra ny mari-pana ho amin'ny haavon'ny preset (400 ℃, 500 ℃, ary 600 ℃) ary notazonina nandritra ny 3-5 ora mba hahazoana karbona.
Andrana naseho:
Amin'ny 400 ℃, rehefa afaka 3 ora, ny sarimihetsika adhesive dia tsy carbonize ary niseho mena maizina; tsy nisy fiovana lehibe hita rehefa afaka 4 ora.
Tamin'ny 500 ℃, taorian'ny adiny 3, nivadika mainty ilay sarimihetsika nefa mbola nampita hazavana; tsy misy fiovana lehibe rehefa afaka 4 ora.
Amin'ny 600 ℃, aorian'ny adiny 3, ny sarimihetsika dia nivadika mainty tsy misy fifindran'ny hazavana, izay manondro ny carbonization tanteraka.
Noho izany, ny mari-pana fatorana mety dia tokony ho ≥600 ℃.
2.3 Fomba fampiharana adhesive
Ny fitovian'ny sarimihetsika adhesive dia famantarana manan-danja amin'ny fanombanana ny fizotran'ny fampiharana adhesive ary hiantohana ny sosona fatorana fanamiana. Ity fizarana ity dia mandinika ny hafainganam-pandehan'ny fihodinana tsara indrindra sy ny fotoana fametahana ho an'ny hatevin'ny sarimihetsika adhesive samihafa. Ny fitoviana
u amin'ny hatevin'ny sarimihetsika dia faritana ho ny tahan'ny hatevin'ny sarimihetsika kely indrindra Lmin amin'ny hatevin'ny sarimihetsika ambony indrindra Lmax amin'ny faritra mahasoa. Teboka dimy teo amin'ny wafer no nofantenana mba handrefesana ny hatevin'ny sarimihetsika, ary kajy ny fitoviana. Ny sary 4 dia mampiseho ireo teboka fandrefesana.
Ho an'ny fatorana avo lenta eo amin'ny singa SiC wafer sy graphite, ny hatevin'ny sarimihetsika adhesive tiana dia 1-5 µm. Ny hatevin'ny sarimihetsika 2 µm no nofidiana, azo ampiharina amin'ny fanomanana sarimihetsika karbônina sy ny fizotran'ny fatorana taratasy wafer/grafita. Ny mari-pamantarana fanodinkodinana tsara indrindra ho an'ny adhesive carbonizing dia 15 s amin'ny 2500 r / min, ary ho an'ny adhesive mifamatotra, 15 s amin'ny 2000 r / min.
2.4 Fomba famatorana
Mandritra ny fatorana ny wafer SiC amin'ny taratasy grafita/grafita, dia ilaina ny manafoana tanteraka ny rivotra sy ny gazy organika ateraky ny karbônina avy amin'ny sosona mifamatotra. Ny famongorana entona tsy feno dia miteraka banga, mitarika ho amin'ny sosona mifamatotra tsy matevina. Ny rivotra sy ny gazy organika dia azo esorina amin'ny alàlan'ny paompy solika mekanika. Amin'ny voalohany, ny fampandehanana tsy tapaka ny paompy mekanika dia miantoka fa mahatratra ny fetrany ny efitrano banga, mamela ny fanesorana tanteraka ny rivotra amin'ny sosona mifamatotra. Ny fiakaran'ny mari-pana haingana dia afaka misoroka ny fanafoanana entona ara-potoana mandritra ny karbônina amin'ny hafanana avo, ka mamorona banga ao amin'ny sosona mifamatotra. Ny fananana adhesive dia manondro ny fivoahan'ny gazy lehibe amin'ny ≤120 ℃, miorim-paka eo ambonin'io mari-pana io.
Ny tsindry ivelany dia ampiharina mandritra ny fatorana mba hanatsarana ny hakitroky ny sarimihetsika adhesive, manamora ny fandroahana ny rivotra sy ny gaza organika, ka miteraka sosona mifamatotra avo lenta.
Raha fintinina, dia novolavolaina ny fizotry ny fizotry ny fifamatorana aseho amin'ny sary 5. Amin'ny fanerena manokana, ny mari-pana dia niakatra ho any amin'ny outgassing mari-pana (~ 120 ℃) ary mihazona mandra-outgassing tanteraka. Avy eo, ampitomboina amin'ny mari-pana karbônina ny mari-pana, tazonina mandritra ny fotoana ilaina, arahin'ny fampangatsiahana voajanahary amin'ny mari-pana amin'ny efitrano, famotsorana ny tsindry ary fanesorana ny wafer mifatotra.
Araka ny fizarana 2.2, ny sarimihetsika adhesive dia tokony ho carbonized amin'ny 600 ℃ mandritra ny 3 ora. Noho izany, ao amin'ny curve dingan'ny fatorana, T2 dia napetraka amin'ny 600 ℃ ary t2 hatramin'ny 3 ora. Ny soatoavina tsara indrindra ho an'ny curve fizotry ny fifamatorana, voafaritra amin'ny alalan'ny fanandramana orthogonal mandalina ny vokatry ny fanerena mifamatotra, ny fotoana fanafanana dingana voalohany t1, ary ny fotoana fanafanana dingana faharoa t2 amin'ny vokatry ny fifamatorana, dia aseho amin'ny tabilao 2-4.
Nambara ny valiny:
Amin'ny fanerena fatorana 5 kN, ny fotoana fanafanana dia nisy fiantraikany kely tamin'ny fatorana.
Tamin'ny 10 kN, nihena ny faritra banga ao amin'ny sosona mifamatotra miaraka amin'ny fanafanana dingana voalohany lava kokoa.
Amin'ny 15 kN, ny fanitarana ny fanafanana dingana voalohany dia mampihena be ny voids, amin'ny farany manala azy ireo.
Ny fiantraikan'ny fotoana fanafanana amin'ny dingana faharoa amin'ny fifamatorana dia tsy hita tamin'ny fitsapana orthogonal. Ny fametrahana ny fanerena fatorana amin'ny 15 kN sy ny fotoana fanafanana dingana voalohany amin'ny 90 min, ny fotoana fanafanana dingana faharoa amin'ny 30, 60, ary 90 min dia nahatonga ireo sosona mifamatotra tsy misy dikany, izay manondro ny fotoana fanafanana dingana faharoa. fiantraikany kely amin'ny fatorana.
Ny sanda tsara indrindra ho an'ny curve fizotry ny fatorana dia: fanerena fatorana 15 kN, dingana voalohany fanafanana fotoana 90 min, dingana voalohany mari-pana 120 ℃, dingana faharoa fanafanana fotoana 30 min, dingana faharoa mari-pana 600 ℃, ary ny dingana faharoa mihazona fotoana 3 ora.
Fotoana fandefasana: Jun-11-2024