Ny fahadiovan'nyambonin'ny ovydia hisy fiantraikany lehibe amin'ny taham-pahamendrehana ny fizotran'ny semiconductor manaraka sy ny vokatra. Hatramin'ny 50% amin'ny fatiantoka rehetra dia vokatry nyambonin'ny ovyfandotoana.
Ireo zavatra mety hiteraka fiovana tsy voafehy amin'ny fampandehanana elektrônika amin'ny fitaovana na ny fizotran'ny famokarana fitaovana dia antsoina hoe loto. Ny loto dia mety avy amin'ny wafer mihitsy, ny efitrano madio, ny fitaovana fanodinana, ny akora simika na ny rano.mofo manifyNy fandotoana amin'ny ankapobeny dia azo tsikaritra amin'ny alalan'ny fijerena maso, ny fanaraha-maso ny dingana, na ny fampiasana fitaovana famakafakana sarotra amin'ny fitsapana fitaovana farany.
▲Ny loto eny ambonin'ny ovy silisiôma | Tambajotra loharanon-tsary
Ny vokatry ny famakafakana ny loto dia azo ampiasaina hanehoana ny ambaratonga sy ny karazana fandotoana atrehan'nymofo manifyamin'ny dingana dingana iray, milina manokana na ny dingana ankapobeny. Araka ny fanasokajiana ny fomba fitiliana,ambonin'ny ovyazo zaraina ho karazana manaraka ireto ny loto.
Fandotoana metaly
Ny fandotoana ateraky ny metaly dia mety hiteraka fahasimbana amin'ny fitaovana semiconductor amin'ny ambaratonga samihafa.
Ny metaly alkali na ny metaly alkaline tany (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, sns.) dia mety miteraka tondra-drano ao amin'ny rafitry ny pn, izay mitarika ho amin'ny fihenan'ny oksida; metaly tetezamita sy metaly mavesatra (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, sns.) Ny fandotoana dia mety hampihena ny tsingerin'ny fiainan'ny mpitatitra, hampihenana ny fiainan'ny serivisy na hampitombo ny maizina ankehitriny rehefa miasa ny singa.
Ny fomba mahazatra hamantarana ny fandotoana metaly dia ny fandriam-pahalemana taratra X-taratra, ny spectroscopy amin'ny fisoronana atomika ary ny spectrometry faobe plasma (ICP-MS) miaraka amin'ny inductively.
▲ Fandotoana ambonin'ny ovy | ResearchGate
Ny fandotoana metaly dia mety avy amin'ny reagents ampiasaina amin'ny fanadiovana, etching, lithography, deposition, sns., na avy amin'ny milina ampiasaina amin'ny dingana, toy ny lafaoro, reactors, implantation ion, sns., na mety ho vokatry ny fikarakarana wafer tsy mitandrina.
Fandotoana potikely
Ny fametrahana fitaovana tena izy dia matetika jerena amin'ny alàlan'ny fahitana ny hazavana miparitaka avy amin'ny kilema amin'ny tany. Noho izany, ny anarana ara-tsiansa marina kokoa amin'ny fandotoana poti dia ny kilema amin'ny teboka maivana. Ny fandotoana potikely dia mety miteraka fiatraikany fanakanana na fisaronana amin'ny fizotran'ny etching sy lithography.
Mandritra ny fitomboan'ny sarimihetsika na ny fametrahana azy dia misy lavaka kely sy microvoids, ary raha lehibe sy conductive ny poti-javatra, dia mety hiteraka cours fohy mihitsy aza.
▲ Fiforonan'ny fandotoana poti | Tambajotra loharanon-tsary
Mety hiteraka aloka eny ambonin'ny tany ny fandotoana sombin-javatra bitika, toy ny mandritra ny photolithography. Raha misy poti be dia be eo anelanelan'ny photomask sy ny sosona photoresist, dia mety hampihena ny famahana ny fifandraisana.
Ankoatr'izay, afaka manakana ny ion haingana izy ireo mandritra ny fametrahana ion na etching maina. Mety ho voafehin'ilay sarimihetsika koa ny poti-javatra, ka misy mibontsina sy mibontsina. Ny sosona apetraka manaraka dia mety ho triatra na hanohitra ny fihangonana amin'ireo toerana ireo, ka miteraka olana mandritra ny fiposahan'ny masoandro.
Fandotoana organika
Ny loto misy karbaona, ary koa ny rafitra mifamatotra amin'ny C, dia antsoina hoe loto organika. Ny loto organika dia mety hiteraka fananana hydrophobic tsy ampoizina amin'nyambonin'ny ovy, mampitombo ny hamafin'ny ety ivelany, miteraka zavona, manakorontana ny fitomboan'ny sosona epitaxial, ary misy fiantraikany amin'ny fanadiovana vokatry ny loto metaly raha tsy esorina aloha ny loto.
Ny fandotoana ambonin'ny tany toy izany dia hita amin'ny ankapobeny amin'ny alàlan'ny fitaovana toy ny MS desorption thermal, spectroscopy photoelectron X-ray, ary spectroscopy electron Auger.
▲Tambajotra loharanon-tsary
Fandotoana gazy sy fandotoana rano
Ny molekiolan'ny atmosfera sy ny fandotoana ny rano manana haben'ny molekiola dia matetika tsy esorina amin'ny alàlan'ny rivotra amin'ny rivotra mahery vaika (HEPA) na sivana an'habakabaka ultra-low penetration (ULPA). Ny fandotoana toy izany dia matetika manara-maso amin'ny alàlan'ny spectrometry faobe ion sy electrophoresis capillary.
Ny loto sasany dia mety ho anisan'ny sokajy maro, ohatra, ny poti dia mety ahitana akora organika na metaly, na izy roa, ka io karazana loto io dia azo sokajiana ho karazana hafa.
▲Mandoto molekiola gazy | IONICON
Fanampin'izany, ny fandotoana ny wafer dia azo sokajiana ho fandotoana molekiola, fandotoana poti ary fandotoana potipoti-javatra azo avy amin'ny dingana araka ny haben'ny loharanon'ny loto. Arakaraky ny kely ny haben'ny poti-javatra loto no sarotra kokoa ny manala azy. Amin'ny famokarana singa elektronika ankehitriny, ny fomba fanadiovana wafer dia mitentina 30% - 40% amin'ny fizotran'ny famokarana manontolo.
▲Ny loto eny ambonin'ny ovy silisiôma | Tambajotra loharanon-tsary
Fotoana fandefasana: Nov-18-2024