Ny fomba famokarana dingana fanodinana ho an'ny substrate SiC dia toy izao manaraka izao:
1. Crystal Orientation: Mampiasa X-ray diffraction mba hitodika amin'ny kristaly ingot.Rehefa mitodika any amin'ny endrika kristaly irina ny taratra X-ray, dia ny zoro amin'ny taratra diffracted no mamaritra ny orientation kristaly.
2. Fikosoham-bary ivelany: Ny kristaly tokana nambolena tamin'ny grafit crucibles dia matetika mihoatra ny savaivony mahazatra.Ny fikosoham-bary ivelany dia mampihena azy ireo amin'ny habe mahazatra.
Famaranana ny tarehy: Ny substrate 4H-SiC 4-inch dia matetika manana sisiny roa, voalohany sy faharoa.Ny fikosoham-bolo amin'ny faran'ny tarehy dia manokatra ireo sisiny fametrahana ireo.
3. Wire Sawing: Wire sawing dia dingana lehibe amin'ny fanodinana substrates 4H-SiC.Misy fiatraikany ratsy amin'ny dingana manaraka ny vakivaky sy ny fahasimbana ambanin'ny tany nateraky ny fanetezana tariby, izay manitatra ny fotoana fikarakarana ary miteraka fatiantoka.Ny fomba mahazatra indrindra dia tsofa tariby misy diamondra abrasive.Fihetsiketsehana miverimberina amin'ny tariby metaly mifamatotra amin'ny abrasive diamondra dia ampiasaina hanapahana ny ingot 4H-SiC.
4. Chamfering: Mba hisorohana ny fiparitahan'ny sisiny sy hampihenana ny fatiantoka azo ampiasaina mandritra ny dingana manaraka, dia apetaka amin'ny endrika voafaritra ny sisiny maranitra amin'ny poti-tsofa tariby.
5. Manify: Ny tsofa tariby dia mamela ratra sy fahasimbana ambanin'ny tany.Ny fanivanana dia atao amin'ny fampiasana kodiarana diamondra mba hanesorana ireo lesoka ireo araka izay azo atao.
6. Fikosoham-bary: Ity dingana ity dia ahitana fikosoham-bary sy fikosoham-bary tsara amin'ny fampiasana karbida boron na diamondra kely kokoa mba hanesorana ny sisa tavela sy ny fahasimbana vaovao nampidirina nandritra ny fanivanana.
7. Fikosehana: Ny dingana farany dia ny fanosehana masiaka sy ny fanosehana tsara amin'ny fampiasana abrasives alumina na silisiôma.Manalefaka ny ety ambonin'ny tany ny ranon-javatra mametaka, izay esorina amin'ny alalan'ny abrasive.Ity dingana ity dia miantoka ny ambonin'ny malama sy tsy simba.
8. Fanadiovana: Esory ny poti, ny metaly, ny sarimihetsika oksizenina, ny sisa tavela amin'ny organika, ary ny loto hafa tavela amin'ny dingana fanodinana.
Fotoana fandefasana: May-15-2024