Ny fitomboan'ny epitaxial dia teknôlôjia izay mampitombo ny sosona kristaly tokana amin'ny substrate kristaly iray (substrate) miaraka amin'ny fironany kristaly mitovy amin'ny substrate, toy ny hoe niitatra ivelany ny kristaly tany am-boalohany. Ity sosona kristaly tokana vao nitombo ity dia mety tsy mitovy amin'ny substrate amin'ny resaka karazana conductivity, resistivity, sns., ary afaka mampitombo kristaly tokana misy sosona maromaro miaraka amin'ny hateviny sy fepetra samihafa, ka manatsara ny fahaizan'ny famolavolana fitaovana sy ny fahombiazan'ny fitaovana. Ankoatr'izay, ny fizotran'ny epitaxial dia ampiasaina betsaka amin'ny teknolojia fitokana-monina PN junction amin'ny circuit integrated sy amin'ny fanatsarana ny kalitaon'ny fitaovana amin'ny faritra midadasika midadasika.
Ny fanasokajiana ny epitaxy dia mifototra indrindra amin'ny fitambarana simika samihafa amin'ny substrate sy ny sosona epitaxial ary ny fomba fitomboana samihafa.
Araka ny firafitry ny simika samihafa, ny fitomboan'ny epitaxial dia azo zaraina ho karazany roa:
1. Homoepitaxial: Amin'ity tranga ity, ny sosona epitaxial dia manana singa simika mitovy amin'ny substrate. Ohatra, ny sosona epitaxial silisiôma dia mitombo mivantana amin'ny substrate silisiôma.
2. Heteroepitaxy: Eto, ny firafitry ny simika amin'ny sosona epitaxial dia tsy mitovy amin'ny an'ny substrate. Ohatra, misy sosona epitaxial gallium nitride nambolena tamin'ny substrate safira.
Araka ny fomba fitomboana samihafa, ny teknolojia fitomboan'ny epitaxial dia azo zaraina ho karazany isan-karazany:
1. Molecular beam epitaxy (MBE): Ity dia teknolojia amin'ny fampitomboana sarimihetsika manify kristaly tokana amin'ny substrate kristaly tokana, izay tratra amin'ny fifehezana tsara ny tahan'ny fikorianan'ny molekiolan'ny taratra sy ny hakitroky ny taratra amin'ny vacuum ultra-high.
2. Metal-organic chemical evaporation deposition (MOCVD): Ity teknolojia ity dia mampiasa ny metaly-organic compounds sy ny gazy-phase reagents mba hanao fihetsika simika amin'ny hafanana avo mba hamokarana ireo akora film manify ilaina. Izy io dia manana fampiharana malalaka amin'ny fanomanana ny fitaovana sy ny fitaovana semiconductor.
3. Liquid phase epitaxy (LPE): Amin'ny fampidirana akora misy ranon-javatra amin'ny substrate kristaly tokana ary manao fitsaboana hafanana amin'ny mari-pana iray, dia mivaingana ny akora ranon-javatra ka mamorona sarimihetsika kristaly tokana. Ny sarimihetsika nomanin'ity teknolojia ity dia mifanandrify amin'ny substrate ary matetika ampiasaina hanamboarana fitaovana sy fitaovana semiconductor.
4. Vapor phase epitaxy (VPE): Mampiasa gazy reactants mba hanatanterahana ny simika fanehoan-kevitra amin'ny hafanana avo mba hamokatra ny ilaina film manify akora. Ity teknôlôjia ity dia mety amin'ny fanomanana ny faritra midadasika, avo lenta amin'ny sarimihetsika kristaly tokana, ary miavaka indrindra amin'ny fanomanana fitaovana sy fitaovana semiconductor.
5. Chemical beam epitaxy (CBE): Ity teknôlôjia ity dia mampiasa taratra simika mba hambolena sarimihetsika kristaly tokana amin'ny substrate kristaly tokana, izay tratra amin'ny fifehezana tsara ny tahan'ny fikorianan'ny taratra simika sy ny hakitroky ny taratra. Izy io dia manana fampiharana malalaka amin'ny fanomanana sarimihetsika manify kristaly tokana avo lenta.
6. Atomic layer epitaxy (ALE): Amin'ny fampiasana teknolojia deposition sosona atomika, ireo akora manify ilaina dia apetraka amin'ny sosona amin'ny substrate kristaly tokana. Ity teknôlôjia ity dia afaka manomana filma kristaly tokana amin'ny faritra midadasika sy avo lenta ary matetika ampiasaina hanomanana fitaovana sy fitaovana semiconductor.
7. Epitaxy rindrina mafana (HWE): Amin'ny alàlan'ny fanamafisam-peo avo lenta dia apetraka eo amin'ny substrate kristaly tokana ny reactants misy gazy mba hamorona sarimihetsika kristaly tokana. Ity teknôlôjia ity koa dia mety amin'ny fanomanana ny faritra midadasika, avo lenta amin'ny sarimihetsika kristaly tokana, ary ampiasaina indrindra amin'ny fanomanana ny fitaovana sy ny fitaovana semiconductor.
Fotoana fandefasana: May-06-2024