Inona no atao hoe epitaxy?

Tsy mahazatra ny ankamaroan'ny injenieraepitaxy, izay mitana anjara toerana lehibe amin'ny famokarana fitaovana semiconductor.Epitaxyazo ampiasaina amin'ny vokatra chip samihafa, ary ny vokatra samihafa dia manana karazana epitaxy isan-karazany, anisan'izanySy epitaxy, SiC epitaxy, GaN epitaxy, sns.

Inona no atao hoe epitaxy?
Epitaxy dia matetika antsoina hoe "Epitaxy" amin'ny teny anglisy. Avy amin’ny teny grika hoe “epi” (midika hoe “ambony”) sy “taxi” (midika hoe “fandaminana”) ilay teny. Araka ny hevitr'ilay anarana dia midika hoe mandahatra tsara eo ambonin'ny zavatra iray. Ny dingana epitaxy dia ny fametrahana sosona kristaly tokana manify amin'ny substrate kristaly tokana. Ity sosona kristaly tokana vao tafapetraka ity dia antsoina hoe sosona epitaxial.

Misy karazany roa ny epitaxy: homoepitaxial sy heteroepitaxial. Ny homoepitaxial dia manondro ny fambolena akora mitovy amin'ny karazana substrate iray ihany. Ny sosona epitaxial sy ny substrate dia mitovy tanteraka amin'ny firafitry ny lattice. Heteroepitaxy dia ny fitomboan'ny akora hafa amin'ny substrate iray. Amin'ity tranga ity, ny firafitry ny makarakara ny sosona kristaly epitaxially mitombo sy ny substrate mety ho hafa. Inona no atao hoe kristaly tokana sy polycrystalline?
Ao amin'ny semiconductor, matetika isika no mandre ny teny hoe silisiôma kristaly tokana sy silisiôla polycrystalline. Nahoana ny silisiôma sasany no antsoina hoe kristaly tokana ary ny silisiôma sasany antsoina hoe polycrystalline?

Krystaly tokana: Ny fandaharana makarakara dia mitohy ary tsy miova, tsy misy sisin-tany, izany hoe, ny kristaly iray manontolo dia voaforona makarakara tokana miaraka amin'ny orientation kristaly tsy miova. Polycrystalline: Ny polycrystalline dia ahitana voa madinika maro, ny tsirairay amin'izy ireo dia kristaly tokana, ary ny orientation azy ireo dia mifanentana amin'ny tsirairay. Ireo voa ireo dia misaraka amin'ny sisin'ny voa. Ny vidin'ny famokarana fitaovana polycrystalline dia ambany noho ny an'ny kristaly tokana, noho izany dia mbola ilaina amin'ny fampiharana sasany. Aiza no hidiran'ny fizotran'ny epitaxial?
Ao amin'ny fanamboarana ny silisiôma mifototra amin'ny faritra Integrated, ny epitaxial dingana dia be mpampiasa. Ohatra, ny epitaxy silisiôma dia ampiasaina hambolena sosona silisiôma madio sy voafehy tsara eo amin'ny substrate silisiôna, izay tena zava-dehibe amin'ny fanamboarana circuit integrated. Ho fanampin'izany, amin'ny fitaovana herinaratra, SiC sy GaN dia fitaovana semiconductor bandgap matetika ampiasaina amin'ny fahaiza-manao tsara. Ireo fitaovana ireo dia matetika ambolena amin'ny silisiôma na substrate hafa amin'ny alàlan'ny epitaxy. Amin'ny fifandraisana quantum, ny bitika quantum mifototra amin'ny semiconductor dia matetika mampiasa rafitra epitaxial silisiôma germanium. Sns

Fomba fitomboan'ny epitaxial?

Fomba telo ampiasaina matetika epitaxy semiconductor:

Molecular beam epitaxy (MBE): Molecular beam epitaxy) dia teknolojia fitomboan'ny epitaxial semiconductor vita amin'ny toe-javatra banga avo lenta. Amin'ity teknôlôjia ity, ny akora loharano dia etona amin'ny endrika atôma na taratra molekiola ary avy eo apetraka amin'ny substrate kristaly. MBE dia tena mazava sy azo fehezina semiconductor manify fitomboan'ny teknolojia izay afaka mifehy tsara ny hatevin'ny zavatra napetraka eo amin'ny atomika ambaratonga.

Metal organic CVD (MOCVD): Ao amin'ny dingana MOCVD, metaly organika sy entona hydride misy ny singa ilaina dia omena amin'ny substrate amin'ny hafanana mety, ary ny fitaovana semiconductor ilaina dia avoaka amin'ny alàlan'ny fanehoan-kevitra simika ary apetraka amin'ny substrate, raha ny sisa tavela. kapoka sy ny vokatra fanehoan-kevitra dia navoaka.

Vapor Phase Epitaxy (VPE): Vapor Phase Epitaxy dia teknolojia manan-danja ampiasaina matetika amin'ny famokarana fitaovana semiconductor. Ny foto-keviny dia ny fitaterana ny etona amin'ny akora iray na fitambarana ao anaty entona mitondra ary mametraka kristaly eo amin'ny substrate amin'ny alàlan'ny fanehoan-kevitra simika.