nyMOCVDNy fomba dia iray amin'ireo dingana maharitra indrindra ampiasaina amin'izao fotoana izao amin'ny indostria mba hampitomboana sarimihetsika manify kristaly tokana avo lenta, toy ny epilayers InGaN dingana tokana, fitaovana III-N, ary sarimihetsika semiconductor miaraka amin'ny rafitra lava-bato marobe, ary manan-danja lehibe amin'ny famokarana fitaovana semiconductor sy optoelectronic.
nySiC coating MOCVD susceptordia mpihazona wafer manokana voarakotra silisiôma carbide (SiC) ho an'nyepitaxial Ny fitomboan'ny fizotran'ny metaly organika simika etona (MOCVD).
Ny coating SiC dia manana fanoherana simika tsara sy fitoniana mafana, ka mahatonga azy io ho safidy tsara ho an'ny susceptors MOCVD ampiasaina amin'ny fitakiana ny fizotry ny fitomboana epitaxial.
Ny singa manan-danja amin'ny fizotry ny MOCVD dia ny susceptor, izay singa fototra hiantohana ny fitoviana sy ny kalitaon'ny sarimihetsika manify novokarina.
Inona no atao hoe susceptor? Ny susceptor dia singa manokana ampiasaina amin'ny fizotran'ny MOCVD hanohanana sy hanafanana ny substrate izay ametrahana ilay sarimihetsika manify. Manana asa maro izy io, anisan'izany ny fitrandrahana angovo elektromagnetika, manova azy ho hafanana, ary mizara mitovy ny hafanana amin'ny substrate. Ity fanafanana fanamiana ity dia tena ilaina amin'ny fitomboan'ny sarimihetsika manify mitovy amin'ny hateviny sy ny composition.
Karazana susceptors:
1. Fiarovana amin'ny grafita: Matetika no rakotra sosona fiarovana toy nysilisiôna karbida (SiC), izay fantatra amin'ny fampitana hafanana sy ny fahamarinany avo lenta. nySiC coatingmanome tafo mafy, miaro izay manohitra ny harafesina sy ny fahasimbana amin'ny hafanana ambony.
2. Silicon carbide (SiC) susceptors: Ireo susceptors ireo dia vita amin'ny SiC manontolo ary manana fitoniana mafana tsara sy fanoherana ny fitafy. Ny susceptors SiC dia mety indrindra amin'ny fizotran'ny hafanana sy ny tontolo manimba.
Ahoana ny fiasan'ny susceptors amin'ny MOCVD:
Ao amin'ny fizotry ny MOCVD, ampidirina ao amin'ny efitranon'ny fanehoan-kevitra ireo mpialoha lalana izay mipoitra sy mihetsika mba hamorona sarimihetsika manify eo amin'ny substrate. Ny susceptor dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny alàlan'ny fiantohana fa mafana ny substrate, izay tena zava-dehibe amin'ny fanatrarana ny toetran'ny sarimihetsika tsy miovaova amin'ny tontolon'ny substrate iray manontolo. Ny fitaovana sy ny famolavolana ny susceptor dia voafantina tsara mba hahafeno ny fepetra manokana amin'ny dingan'ny deposition, toy ny mari-pana sy ny zavatra simika mifanaraka.
Ny tombony amin'ny fampiasana susceptors avo lenta:
• Ny kalitaon'ny sarimihetsika nohatsaraina: Amin'ny fanomezana fizarana hafanana mitovitovy, ny susceptor dia manampy amin'ny fanatontosana sarimihetsika miaraka amin'ny hateviny sy ny firafiny tsy miovaova, izay tena manan-danja amin'ny fahombiazan'ny fitaovana semiconductor.
• Fahombiazan'ny fizotran'ny fanatsarana: Ny susceptors avo lenta dia mampitombo ny fahombiazan'ny fizotran'ny MOCVD amin'ny alàlan'ny fampihenana ny mety hisian'ny lesoka sy ny fampitomboana ny vokatra azo ampiasaina amin'ny sarimihetsika.
• Ny androm-piainana sy ny fahamendrehana: Ny susceptors vita amin'ny fitaovana maharitra toy ny SiC dia miantoka ny fahamendrehana maharitra ary mampihena ny vidin'ny fikojakojana.
Ny susceptor dia singa manan-danja amin'ny fizotran'ny MOCVD ary misy fiantraikany mivantana amin'ny kalitao sy ny fahombiazan'ny fametrahana sarimihetsika manify. Raha mila fanazavana fanampiny momba ny habe misy, MOCVD susceptors ary ny vidiny dia aza misalasala mifandray aminay. Ny injenieranay dia ho faly hanoro anao ny fitaovana mety sy hamaly ny fanontanianao rehetra.
Telefaonina: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Fotoana fandefasana: Aug-12-2024