Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) dia dingana lehibe amin'ny indostrian'ny semiconductor, izay ametrahana sarimihetsika manify avo lenta amin'ny substrate. Ny singa manan-danja amin'ny fizotry ny MOCVD dia ny susceptor, singa manan-danja izay mitana anjara toerana lehibe amin'ny fiantohana ny fitoviana sy ny kalitaon'ny sarimihetsika vokarina.
Inona no atao hoe Susceptor? Ny susceptor dia singa manokana ampiasaina amin'ny fizotran'ny MOCVD mba hanohanana sy hanafanana ny substrate izay ametrahana sarimihetsika manify. Izy io dia manao asa maro, ao anatin'izany ny mitroka angovo elektromagnetika, manova azy ho hafanana, ary mizara izany hafanana izany amin'ny substrate. Ity fanafanana fanamiana ity dia tena ilaina amin'ny fitomboan'ny sarimihetsika homogene miaraka amin'ny hateviny sy ny composition.
Karazana susceptors:
1. Graphite Susceptors: Matetika no mifono sosona fiarovana, toy nysilisiôna karbida (SiC), ny susceptors graphite dia fantatra amin'ny fitondran-tena mafana sy ny fahamarinany. nySiC coatingmanome tafo mafy, miaro izay manohitra ny harafesina sy ny fahasimbana amin'ny hafanana ambony.
2. Silicon Carbide (SiC) Susceptors: Izy ireo dia vita amin'ny SiC manontolo, manome fahatoniana mafana tsara sy fanoherana ny harafesina.SiC susceptorsdia mety indrindra amin'ny fizotran'ny hafanana sy ny tontolo manimba.
AhoanaSusceptorsMiasa amin'ny MOCVD:
Ao amin'ny dingan'ny MOCVD, ampidirina ao amin'ny efitranon'ny reactor ny mpialoha lalana, izay simba sy mihetsika mba hamorona sarimihetsika manify eo amin'ny substrate. Ny susceptor dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny alàlan'ny fiantohana fa ny substrate dia mafana amin'ny fomba mitovy, izay tena ilaina amin'ny fanatrarana ny toetran'ny sarimihetsika tsy miovaova manerana ny substrate manontolo. Ny fitaovana sy ny famolavolana ny susceptor dia nofantenana tsara mba hifanaraka amin'ny fepetra manokana amin'ny dingan'ny fametrahana, toy ny mari-pana sy ny mifanaraka amin'ny simika.
Tombontsoa amin'ny fampiasanaSusceptors avo lenta:
• Fanatsarana ny kalitaon'ny Sarimihetsika: Amin'ny fanomezana fanaparitahana hafanana mitovitovy, ny susceptors dia manampy amin'ny fanatontosana sarimihetsika miaraka amin'ny hateviny sy ny fandrafetana tsy miovaova, izay tena ilaina amin'ny fanatanterahana ny fitaovana semiconductor.
• Nitombo ny fahombiazan'ny fizotran'ny dingana: Ny susceptors avo lenta dia manatsara ny fahombiazan'ny fizotran'ny MOCVD amin'ny alàlan'ny fampihenana ny mety hisian'ny lesoka sy ny fampitomboana ny vokatra azo ampiasaina amin'ny sarimihetsika.
• Ny faharetana sy ny fahamendrehana: Ny susceptors vita amin'ny fitaovana maharitra toy ny SiC dia miantoka ny fahamendrehana maharitra sy ny fampihenana ny vidin'ny fikojakojana.
Fehiny: Ny susceptor dia singa tena ilaina amin'ny fizotran'ny MOCVD, misy fiantraikany mivantana amin'ny kalitao sy ny fahombiazan'ny fametrahana sarimihetsika manify. Amin'ny alàlan'ny fisafidianana ny fitaovana sy ny endrika susceptor mety, ny mpanamboatra semiconductor dia afaka manatsara ny fizotrany, ka mahatonga ny fitaovana tsara kokoa sy ny vidin'ny famokarana. Satria tsy mitsaha-mitombo ny fangatahana fitaovana elektronika avo lenta, ny maha-zava-dehibe ny susc MOCVD avo lenta
Fotoana fandefasana: Aug-12-2024