Description
MOCVD Substrate Heater, singa fanafanana ho an'ny MOCVD
Fanafanana grafita:
Ny singa heater graphite dia ampiasaina amin'ny lafaoro avo lenta miaraka amin'ny mari-pana mahatratra 2200 degre amin'ny tontolo banga ary 3000 degre amin'ny tontolo iainana deoxidized sy nampidirina.
Ny endri-javatra fototra amin'ny heater graphite
1. fitovian'ny rafitra fanafanana.
2. conductivity herinaratra tsara sy ny enta-mavesatra elektrika avo.
3. fanoherana ny harafesina.
4. inoxidizability.
5. fahadiovana simika avo.
6. hery mekanika avo lenta.
Ny tombony dia mitsitsy angovo, lafo ary ambany fikojakojana.
Afaka mamokatra anti-oxidation sy ny androm-piainany maharitra graphite crucible, graphite bobongolo sy ny faritra rehetra amin'ny graphite heater.
Graphite simika
Tombontsoa: fanoherana ny hafanana avo
Fampiharana: MOCVD / Vacuum furnace / Hot Zone
Haavo betsaka: 1.68-1.91g/cm3
flexural hery: 30-46Mpa
fanoherana: 7-12μΩm
Main masontsivana ny graphite heater
| Famaritana ara-teknika | VET-M3 |
| Haavo betsaka (g/cm3) | ≥1.85 |
| Votoaty lavenona (PPM) | ≤500 |
| Shore Hardness | ≥45 |
| Fanoherana manokana (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Herin'ny Flexural (Mpa) | ≥40 |
| Hery fanerena (Mpa) | ≥70 |
| Max. Haben'ny voa (μm) | ≤43 |
| Coefficient ny fanitarana mafana Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
Heater graphite ho an'ny lafaoro elektrika dia manana toetra mahatohitra hafanana, fanoherana oksidia, conductivity elektrika tsara ary hery mekanika tsara kokoa. Afaka manao milina isan-karazany ny grafit heater araka ny mpanjifa 'design.
Piraofilin'ny orinasa
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. dia mpamatsy seramika semiconductor mandroso ary hany mpanamboatra any Shina izay afaka manome seramika karbida silisiôma madio tsara (indrindra ny SiC Recrystallized) sy ny coating CVD SiC. Ankoatr'izay, ny orinasanay dia manolo-tena amin'ny sehatra seramika toy ny alumina, aluminium nitride, zirconia, ary silisiôma nitride, sns.
Ny vokatra lehibe indrindra ao anatin'izany: silisiôma carbide etching disc, silisiôma carbide sambo tow, silisiôma carbide wafer sambo (Photovoltaic & Semiconductor), silisiôma carbide lafaoro fantsona, silisiôma carbide cantilever fivoy, silisiôma carbide Chucks, silisiôma carbide andry, ary koa ny CVD SiC coating sy TaC coating. Ny vokatra ampiasaina indrindra amin'ny indostrian'ny semiconductor sy photovoltaic, toy ny fitaovana ho an'ny fitomboan'ny kristaly, epitaxy, etching, fonosana, coating sy diffusion furnaces, sns.
Ny orinasanay dia manana ny fitaovana famokarana feno toy ny famolahana, sintering, fanodinana, fitaovana fametahana, sns., izay afaka mameno ny rohy ilaina rehetra amin'ny famokarana vokatra ary manana fifehezana ambony ny kalitaon'ny vokatra; Ny drafitra famokarana tsara indrindra dia azo fidina araka ny filan'ny vokatra, ka miteraka vidiny ambany kokoa ary manome vokatra mifaninana kokoa ho an'ny mpanjifa; Afaka mandamina ny famokarana amin'ny fomba malefaka sy mahomby isika mifototra amin'ny fepetra fanaterana baiko ary miaraka amin'ny rafitra fitantanana ny baiko an-tserasera, manome ny mpanjifa ny fotoana fandefasana haingana kokoa sy azo antoka kokoa.
