Ny Si Substrate avy amin'ny Semicera dia singa tena ilaina amin'ny famokarana fitaovana semiconductor mahomby. Namboarina avy amin'ny Silicon (Si) madio indrindra, ity substrate ity dia manome fanamiana miavaka, fitoniana ary fitondran-tena tsara, ka mahatonga azy io ho tonga lafatra amin'ny fampiharana maro be amin'ny indostrian'ny semiconductor. Na ampiasaina amin'ny Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, na SiN Substrate famokarana, ny Semicera Si Substrate dia manome kalitao tsy miovaova sy fampandehanana ambony mba hanomezana fahafaham-po ny fitomboan'ny fitakian'ny siansa elektronika sy fitaovana maoderina.
Fampisehoana tsy manam-paharoa miaraka amin'ny fahadiovana sy fahitsiana
Ny Semicera's Si Substrate dia amboarina amin'ny alàlan'ny dingana mandroso izay miantoka ny fahadiovana ambony sy ny fanaraha-maso hentitra. Ny substrate dia toy ny fototry ny famokarana fitaovana avo lenta isan-karazany, anisan'izany ny Epi-Wafers sy AlN Wafers. Ny fahitsiana sy ny fitoviana amin'ny Si Substrate dia mahatonga azy ho safidy tsara indrindra amin'ny famoronana sosona epitaxial film manify sy singa manan-danja hafa ampiasaina amin'ny famokarana semiconductor taranaka manaraka. Na miasa miaraka amin'ny Gallium Oxide (Ga2O3) na fitaovana mandroso hafa ianao, ny Semicera's Si Substrate dia miantoka ny haavon'ny fahatokisana sy ny fahombiazany.
Fampiharana amin'ny Semiconductor Manufacturing
Ao amin'ny indostrian'ny semiconductor, ny Si Substrate avy amin'ny Semicera dia ampiasaina amin'ny fampiharana marobe, ao anatin'izany ny Si Wafer sy SiC Substrate famokarana, izay manome fototra azo antoka sy azo antoka ho an'ny fametrahana ny sosona mavitrika. Ny substrate dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fanamboarana SOI Wafers (Silicon On Insulator), izay tena ilaina amin'ny microelectronics mandroso sy ny circuit integrated. Fanampin'izany, ny Epi-Wafers (epitaxial wafers) naorina amin'ny Si Substrates dia singa manan-danja amin'ny famokarana fitaovana semiconductor avo lenta toy ny transistor power, diodes, ary circuit integrated.
Ny Si Substrate koa dia manohana ny famokarana fitaovana amin'ny alàlan'ny Gallium Oxide (Ga2O3), akora mivelatra be dia be ampiasaina amin'ny fampiharana mahery vaika amin'ny elektronika herinaratra. Fanampin'izany, ny fampifanarahana ny Semicera's Si Substrate miaraka amin'ny AlN Wafers sy ireo substrate mandroso hafa dia manome antoka fa mahafeno ny fepetra takian'ny indostrian'ny teknolojia avo lenta izy io, ka mahatonga azy io ho vahaolana tsara indrindra amin'ny famokarana fitaovana manara-penitra amin'ny sehatry ny fifandraisan-davitra, fiara ary indostrialy. .
kalitao azo itokisana sy tsy miovaova ho an'ny fampiharana teknolojia avo lenta
Ny substrate Si avy amin'ny Semicera dia novolavolaina tamim-pitandremana mba hahafeno ny fitakiana henjana amin'ny fanamboarana semiconductor. Ny fahamendrehana ara-drafitra miavaka sy ny fananany ambony kalitao dia mahatonga azy io ho fitaovana tsara ampiasaina amin'ny rafitra kasety ho an'ny fitaterana wafer, ary koa amin'ny famoronana sosona avo lenta amin'ny fitaovana semiconductor. Ny fahafahan'ny substrate mitazona ny kalitao tsy miovaova ao anatin'ny toe-javatra samihafa dia miantoka ny lesoka kely indrindra, mampitombo ny vokatra sy ny fahombiazan'ny vokatra farany.
Miaraka amin'ny conductivity mafana tsara indrindra, ny tanjaky ny mekanika ary ny fahadiovana avo lenta, ny Semicera's Si Substrate no fitaovana isafidianana ho an'ny mpanamboatra mikasa ny hahatratra ny fenitra avo indrindra amin'ny fahamendrehana, ny fahamendrehana ary ny fahombiazan'ny famokarana semiconductor.
Safidio ny Semicera's Si substrate ho an'ny vahaolana madio sy mahomby
Ho an'ireo mpanamboatra ao amin'ny indostrian'ny semiconductor, ny Si Substrate avy amin'ny Semicera dia manolotra vahaolana matanjaka sy avo lenta ho an'ny fampiharana isan-karazany, manomboka amin'ny famokarana Si Wafer ka hatramin'ny famoronana Epi-Wafers sy SOI Wafers. Miaraka amin'ny fahadiovana tsy manam-paharoa, ny fahitsiana ary ny fahamendrehana, ity substrate ity dia manome fahafahana ny famokarana fitaovana semiconductor manara-penitra, miantoka ny fahombiazan'ny fotoana maharitra sy ny fahombiazana tsara indrindra. Safidio ny Semicera ho an'ny filanao Si substrate, ary matokia vokatra natao hamenoana ny fitakian'ny teknolojia rahampitso.
IREO SINGA NASIANA | Famokarana | Research | Dummy |
Parametera kristaly | |||
Polytype | 4H | ||
Fahadisoan'ny orientation surface | <11-20 >4±0.15° | ||
Parametera elektrika | |||
Dopant | n-karazana azota | ||
Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Paramètre mekanika | |||
savaivony | 150.0±0.2mm | ||
hateviny | 350±25 μm | ||
Primary flat orientation | [1-100]±5° | ||
Lava fisaka voalohany | 47.5±1.5mm | ||
fisaka faharoa | tsy misy | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
LOHAN-TSAMBO | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
aretina | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Eo anoloana (Si-face) henjana (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
FIRAFITRA | |||
hakitroky micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Fahalotoana metaly | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Quality Front | |||
anoloana | Si | ||
Famaranana ambonin'ny tany | Si-face CMP | ||
poti | ≤60ea/wafer (habe≥0.3μm) | NA | |
scratches | ≤5ea/mm. Mitambatra halavany ≤Diameter | Cumulative length≤2 * Diameter | NA |
Hodi-boasary / lavaka / tasy / striations / triatra / loto | tsy misy | NA | |
Sisiny chips/indents/fracture/hex takelaka | tsy misy | ||
faritra polytype | tsy misy | Faritra mitambatra≤20% | Faritra mitambatra≤30% |
Famaritana tamin'ny laser anoloana | tsy misy | ||
Quality Back | |||
Famaranana miverina | C-face CMP | ||
scratches | ≤5ea/mm, Mitambatra halavany≤2 * Savaivony | NA | |
Kilema lamosina (tsisin'ny sisiny) | tsy misy | ||
Ny henjana lamosina | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Back laser marking | 1 mm (avy amin'ny sisiny ambony) | ||
sisin'ny | |||
sisin'ny | Chamfer | ||
Fonosana | |||
Fonosana | Epi-vonona miaraka amin'ny fonosana banga Famonosana kasety multi-wafer | ||
* Fanamarihana: "NA" dia midika hoe tsy misy fangatahana Ny singa tsy voalaza dia mety manondro SEMI-STD. |