Ny Wafer Silicon On Insulator (SOI) an'ny Semicera dia lohalaharana amin'ny fanavaozana semiconductor, manolotra fitokana-monina elektrika nohatsaraina sy fampisehoana mafana. Ny firafitry ny SOI, misy sosona silisiôma manify eo amin'ny substrate insulating, dia manome tombony lehibe ho an'ny fitaovana elektronika avo lenta.
Ny wafers SOI anay dia natao hanamaivanana ny capacitance parasitika sy ny tondra-drano mitete, izay tena ilaina amin'ny fampivoarana circuit integrated haingam-pandeha sy ambany. Ity teknôlôjia avo lenta ity dia miantoka fa ny fitaovana dia miasa amin'ny fomba mahomby kokoa, miaraka amin'ny fanatsarana ny hafainganam-pandeha sy ny fihenan'ny angovo, izay tena ilaina amin'ny elektronika maoderina.
Ny fizotry ny famokarana mandroso ampiasain'ny Semicera dia miantoka ny famokarana wafer SOI miaraka amin'ny fanamiana tsara sy tsy miovaova. Ity kalitao ity dia tena ilaina amin'ny fampiharana amin'ny fifandraisan-davitra, fiara ary elektronika mpanjifa, izay ilaina ny singa azo antoka sy mahomby.
Ho fanampin'ny tombotsoan'izy ireo elektrika, ny wafers SOI Semicera dia manolotra insulation mafana tsara, manatsara ny fiparitahan'ny hafanana sy ny fahamarinan-toerana amin'ny fitaovana avo lenta sy matanjaka. Ity endri-javatra ity dia manan-danja indrindra amin'ny fampiharana izay miteraka hafanana lehibe ary mitaky fitantanana mafana mahomby.
Amin'ny fisafidianana ny Semicera's Silicon On Insulator Wafer, dia mampiasa vola amina vokatra iray manohana ny fandrosoan'ny teknolojia avo lenta ianao. Ny fanoloran-tenantsika amin'ny kalitao sy ny fanavaozana dia miantoka fa ny wafer SOI antsika dia mahafeno ny fepetra henjana amin'ny indostrian'ny semiconductor ankehitriny, manome fototra ho an'ny fitaovana elektronika taranaka manaraka.
| IREO SINGA NASIANA | Famokarana | Research | Dummy |
| Parametera kristaly | |||
| Polytype | 4H | ||
| Fahadisoan'ny orientation surface | <11-20 >4±0.15° | ||
| Parametera elektrika | |||
| Dopant | n-karazana azota | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramètre mekanika | |||
| savaivony | 150.0±0.2mm | ||
| hateviny | 350±25 μm | ||
| Primary flat orientation | [1-100]±5° | ||
| Lava fisaka voalohany | 47.5±1.5mm | ||
| fisaka faharoa | tsy misy | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| LOHAN-TSAMBO | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| aretina | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Eo anoloana (Si-face) henjana (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| FIRAFITRA | |||
| hakitroky micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Fahalotoana metaly | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Quality Front | |||
| anoloana | Si | ||
| Famaranana ambonin'ny tany | Si-face CMP | ||
| poti | ≤60ea/wafer (habe≥0.3μm) | NA | |
| scratches | ≤5ea/mm. Mitambatra halavany ≤Diameter | Cumulative length≤2 * Diameter | NA |
| Hodi-boasary / lavaka / tasy / striations / triatra / loto | tsy misy | NA | |
| Sisiny chips/indents/fracture/hex takelaka | tsy misy | ||
| faritra polytype | tsy misy | Faritra mitambatra≤20% | Faritra mitambatra≤30% |
| Famaritana tamin'ny laser anoloana | tsy misy | ||
| Quality Back | |||
| Famaranana miverina | C-face CMP | ||
| scratches | ≤5ea/mm, Mitambatra halavany≤2 * Savaivony | NA | |
| Kilema lamosina (tsisin'ny sisiny) | tsy misy | ||
| Ny henjana lamosina | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Back laser marking | 1 mm (avy amin'ny sisiny ambony) | ||
| sisin'ny | |||
| sisin'ny | Chamfer | ||
| Fonosana | |||
| Fonosana | Epi-vonona miaraka amin'ny fonosana banga Fonosana kasety maromaro misy wafer | ||
| * Fanamarihana: "NA" dia midika hoe tsy misy fangatahana Ny singa tsy voalaza dia mety manondro SEMI-STD. | |||
