TaC coated graphite guide ringsmanondro ny fametrahana ny sosona manify nytantalum carbideeo ambonin'ny peratra mpitari-dalana graphite mba hanatsarana ny fanoherana ny fitafy, ny fanoherana ny hafanana ambony ary ny fahamarinan-toerana simika. Ity coating ity dia matetika miforona eo ambonin'ny peratra mpitari-dalana graphite amin'ny alàlan'ny teknika toy ny fametrahana etona ara-batana (PVD) na fametrahana etona simika (CVD).
Semicera dia manome coating tantalum carbide (TaC) manokana ho an'ny singa sy mpitatitra isan-karazany.Semicera mitarika coating dingana mamela tantalum carbide (TaC) coatings mba hahazoana ny fahadiovana avo, ny mari-pana ambony fahamarinan-toerana sy ny simika fandeferana avo, fanatsarana ny vokatra SIC / GAN kristaly sy EPI sosona (TaC susceptor vita amin'ny graphite), ary ny fanitarana ny androm-piainan'ny singa reactor fototra. Ny fampiasana ny tantalum carbide TaC coating dia ny famahana ny olan'ny sisiny sy ny fanatsarana ny kalitaon'ny fitomboan'ny kristaly, ary ny Semicera dia namaha ny tantalum carbide coating teknolojia (CVD), tonga amin'ny sehatra iraisam-pirenena mandroso.
Taorian'ny taona maro ny fampandrosoana, Semicera dia nandresy ny teknolojia nyCVD TaCmiaraka amin'ny ezaka iarahan'ny sampana R&D. Ny lesoka dia mora mitranga amin'ny dingan'ny fitomboan'ny wafers SiC, fa aorian'ny fampiasanaTaC, lehibe ny fahasamihafana. Ity ambany ity ny fampitahana ny wafers misy sy tsy misy TaC, ary koa ny ampahany amin'ny Simicera ho an'ny fitomboan'ny kristaly tokana.
Ny endri-javatra lehibe amin'ny peratra mpitari-dalana graphite misy TaC dia ahitana:
1. Fanamafisana ny mari-pana ambony: Ny coating TaC dia manana fahamendrehana avo lenta ary afaka mitazona ny fahamendrehana amin'ny tontolo iainana ambony.
2. Mitafy fanoherana: Ny hamafin'ny tantalum carbide sosona manify manome ny mpitari-dalana ny fihoaram-pefy fanoherana tsara sy manitatra ny asa fanompoana.
3. Filaminana simika: Ny coating TaC dia manana fahamendrehana avo amin'ny harafesina simika, ka mety amin'ny fampiharana amin'ny haino aman-jery sasany manimba.
4. Mampihena ny fifandirana: Ny coating TaC dia afaka mampihena tsara ny fifandonana eo amin'ny peratra mpitari-dalana graphite sy ny singa hafa ary manatsara ny fahombiazan'ny tombo-kase mekanika.
miaraka sy tsy misy TaC
Rehefa avy nampiasa TaC (ankavanana)
Ankoatra izany, ny Semicera'sNy vokatra vita amin'ny TaCmampiseho ny fiainana fanompoana lava kokoa sy ny fanoherana ny hafanana ambony kokoa raha oharina amin'nySiC coatings.Ny fandrefesana laboratoara dia nanaporofo fa ny anayTaC coatingsafaka miasa tsy tapaka amin'ny mari-pana hatramin'ny 2300 degre Celsius mandritra ny fotoana maharitra. Ireto ambany ireto ny ohatra sasantsasany amin'ny santionay:
