TaC coatingdia coating fitaovana manan-danja, izay matetika voaomana amin'ny fototra grafit amin'ny alalan'ny metaly organika simika etona deposition (MOCVD) teknolojia. Ity coating ity dia manana toetra tena tsara, toy ny hamafin'ny avo, ny fanoherana ny fitafy tsara, ny fanoherana ny mari-pana ambony ary ny fahamarinan-toerana simika, ary mety amin'ny fampiharana ara-teknika isan-karazany.
Ny teknolojia MOCVD dia teknôlôjia fitomboan'ny sarimihetsika manify mahazatra izay mametraka ny sarimihetsika mitambatra irina eo amin'ny tampon'ny substrate amin'ny alàlan'ny famaliana ireo mpialoha lalana metaly organika miaraka amin'ny entona mihetsika amin'ny hafanana ambony. Rehefa manomanaTaC coating, mifidy ny metaly organika mialoha sy ny loharanon-karena karbaona, mifehy ny fihetseham-po sy ny masontsivana deposition, ny fanamiana sy matevina TaC sarimihetsika azo apetraka amin'ny fototra graphite.
Semicera dia manome coating tantalum carbide (TaC) manokana ho an'ny singa sy mpitatitra isan-karazany.Semicera mitarika coating dingana mamela tantalum carbide (TaC) coatings mba hahazoana ny fahadiovana avo, ny mari-pana ambony fahamarinan-toerana sy ny simika fandeferana avo, fanatsarana ny vokatra SIC / GAN kristaly sy EPI sosona (TaC susceptor vita amin'ny graphite), ary ny fanitarana ny androm-piainan'ny singa reactor fototra. Ny fampiasana ny tantalum carbide TaC coating dia ny famahana ny olan'ny sisiny sy ny fanatsarana ny kalitaon'ny fitomboan'ny kristaly, ary ny Semicera dia namaha ny tantalum carbide coating teknolojia (CVD), tonga amin'ny sehatra iraisam-pirenena mandroso.
Taorian'ny taona maro ny fampandrosoana, Semicera dia nandresy ny teknolojia nyCVD TaCmiaraka amin'ny ezaka iarahan'ny sampana R&D. Ny lesoka dia mora mitranga amin'ny dingan'ny fitomboan'ny wafers SiC, fa aorian'ny fampiasanaTaC, lehibe ny fahasamihafana. Ity ambany ity ny fampitahana ny wafers misy sy tsy misy TaC, ary koa ny ampahany amin'ny Simicera ho an'ny fitomboan'ny kristaly tokana.
miaraka sy tsy misy TaC
Rehefa avy nampiasa TaC (ankavanana)
Ankoatra izany, ny Semicera'sNy vokatra vita amin'ny TaCmampiseho ny fiainana fanompoana lava kokoa sy ny fanoherana ny hafanana ambony kokoa raha oharina amin'nySiC coatings.Ny fandrefesana laboratoara dia nanaporofo fa ny anayTaC coatingsafaka miasa tsy tapaka amin'ny mari-pana hatramin'ny 2300 degre Celsius mandritra ny fotoana maharitra. Ireto ambany ireto ny ohatra sasantsasany amin'ny santionay:
