Semicera dia manome coating tantalum carbide (TaC) manokana ho an'ny singa sy mpitatitra isan-karazany.Semicera mitarika coating dingana mamela tantalum carbide (TaC) coatings mba hahazoana ny fahadiovana avo, ny mari-pana ambony fahamarinan-toerana sy ny simika fandeferana avo, fanatsarana ny vokatra SIC / GAN kristaly sy EPI sosona (TaC susceptor vita amin'ny graphite), ary ny fanitarana ny androm-piainan'ny singa reactor fototra. Ny fampiasana ny tantalum carbide TaC coating dia ny famahana ny olan'ny sisiny sy ny fanatsarana ny kalitaon'ny fitomboan'ny kristaly, ary ny Semicera dia namaha ny tantalum carbide coating teknolojia (CVD), tonga amin'ny sehatra iraisam-pirenena mandroso.
Miaraka amin'ny fahatongavan'ny 8-inch silicon carbide (SiC) wafers, ny fepetra takiana amin'ny dingana semiconductor isan-karazany dia nanjary henjana, indrindra ho an'ny fizotran'ny epitaxy izay mety hihoatra ny 2000 degre Celsius ny mari-pana. Ny fitaovana susceptor nentim-paharazana, toy ny grafit voarakotra amin'ny karbida silisiôma, dia mirona amin'ny sublimate amin'ireny mari-pana ambony ireny, ka manelingelina ny fizotran'ny epitaxy. Na izany aza, ny CVD tantalum carbide (TaC) dia mamaha ity olana ity amin'ny fomba mahomby, mahatohitra ny mari-pana hatramin'ny 2300 degre Celsius ary manolotra fiainana lava kokoa. Contact Semicera's Tantalum Carbid Coating Half-moonmba hijery bebe kokoa momba ny vahaolana mandroso.
Taorian'ny taona maro ny fampandrosoana, Semicera dia nandresy ny teknolojia nyCVD TaCmiaraka amin'ny ezaka iarahan'ny sampana R&D. Ny lesoka dia mora mitranga amin'ny dingan'ny fitomboan'ny wafers SiC, fa aorian'ny fampiasanaTaC, lehibe ny fahasamihafana. Ity ambany ity ny fampitahana ny wafers misy sy tsy misy TaC, ary koa ny ampahany amin'ny Simicera ho an'ny fitomboan'ny kristaly tokana.
miaraka sy tsy misy TaC
Rehefa avy nampiasa TaC (ankavanana)
Ankoatra izany, ny Semicera'sNy vokatra vita amin'ny TaCmampiseho ny fiainana fanompoana lava kokoa sy ny fanoherana ny hafanana ambony kokoa raha oharina amin'nySiC coatings.Ny fandrefesana laboratoara dia nanaporofo fa ny anayTaC coatingsafaka miasa tsy tapaka amin'ny mari-pana hatramin'ny 2300 degre Celsius mandritra ny fotoana maharitra. Ireto ambany ireto ny ohatra sasantsasany amin'ny santionay:
TaC coated susceptor
Graphite miaraka amin'ny reactor mifono TaC
