Semicera dia manome coating tantalum carbide (TaC) manokana ho an'ny singa sy mpitatitra isan-karazany.Semicera mitarika coating dingana mamela tantalum carbide (TaC) coatings mba hahazoana ny fahadiovana avo, ny mari-pana ambony fahamarinan-toerana sy ny simika fandeferana avo, fanatsarana ny vokatra SIC / GAN kristaly sy EPI sosona (TaC susceptor vita amin'ny graphite), ary ny fanitarana ny androm-piainan'ny singa reactor fototra. Ny fampiasana ny tantalum carbide TaC coating dia ny famahana ny olan'ny sisiny sy ny fanatsarana ny kalitaon'ny fitomboan'ny kristaly, ary ny Semicera dia namaha ny tantalum carbide coating teknolojia (CVD), tonga amin'ny sehatra iraisam-pirenena mandroso.
Tantalum carbide coated wafer carriers dia ampiasaina betsaka amin'ny fanodinana wafer sy ny fikarakarana ny fizotran'ny famokarana semiconductor. Manome fanohanana sy fiarovana maharitra izy ireo mba hiantohana ny fiarovana, ny fahamendrehana ary ny tsy fitoviana amin'ny wafers mandritra ny dingan'ny famokarana. Ny coatings tantalum carbide dia afaka manitatra ny fiainan'ny mpitatitra, mampihena ny vidiny, ary manatsara ny kalitao sy ny fahamendrehan'ny vokatra semiconductor.
Ny famaritana ny tantalum carbide mifono wafer carrier dia toy izao manaraka izao:
1. Fifantenana ara-nofo: Tantalum carbide dia fitaovana manana fampisehoana tsara, hamafin'ny avo, teboka avo lenta, fanoherana ny harafesina ary fananana mekanika tena tsara, noho izany dia ampiasaina betsaka amin'ny fizotran'ny famokarana semiconductor.
2. Fametahana amin'ny ety ivelany: Ny tantalum carbide coating dia ampiharina amin'ny tampon'ny mpitatitra wafer amin'ny alàlan'ny dingana fanosotra manokana mba hamoronana fanamiana tantalum carbide coating. Ity coating ity dia afaka manome fiarovana fanampiny sy fanoherana ny akanjo, ary manana conductivity mafana tsara.
3. Flatness sy mazava tsara: Tantalum carbide mifono wafer carrier manana ambaratonga ambony ny fisaka sy mazava tsara, miantoka ny fahamarinan-toerana sy ny fahamarinan'ny wafers mandritra ny dingana famokarana. Ny fisaka sy ny fahataperan'ny velaran'ny mpitatitra dia tena ilaina mba hiantohana ny kalitao sy ny fahombiazan'ny wafer.
4. Fahamarinan'ny mari-pana: Tantalum carbide coated wafer carriers dia afaka mitazona ny fitoniana amin'ny tontolo iainana avo lenta tsy misy deformation na famahana, miantoka ny fitoniana sy ny tsy fitoviana amin'ny wafers amin'ny fizotry ny hafanana.
5. Ny fanoherana ny harafesina: Ny tantalum carbide coatings dia manana fanoherana tsara amin'ny harafesina, afaka manohitra ny fikorontanan'ny simika sy solvents, ary miaro ny mpitatitra amin'ny harafesina sy ny entona.
miaraka sy tsy misy TaC
Rehefa avy nampiasa TaC (ankavanana)
Ankoatra izany, ny Semicera'sNy vokatra vita amin'ny TaCmampiseho ny fiainana fanompoana lava kokoa sy ny fanoherana ny hafanana ambony kokoa raha oharina amin'nySiC coatings.Ny fandrefesana laboratoara dia nanaporofo fa ny anayTaC coatingsafaka miasa tsy tapaka amin'ny mari-pana hatramin'ny 2300 degre Celsius mandritra ny fotoana maharitra. Ireto ambany ireto ny ohatra sasantsasany amin'ny santionay:
