Tantalum carbide mifono takelaka fanohanana susceptordia susceptor na rafitra fanohanana izay rakotra sosona manify nytantalum carbide. Ity coating ity dia azo amboarina eo amin'ny tampon'ny susceptor amin'ny alàlan'ny teknika toy ny fametrahana ny etona ara-batana (PVD) na ny fametrahana etona simika (CVD), izay manome ny susceptor ny toetra ambony indrindratantalum carbide.
Semicera dia manome coating tantalum carbide (TaC) manokana ho an'ny singa sy mpitatitra isan-karazany.Semicera mitarika coating dingana mamela tantalum carbide (TaC) coatings mba hahazoana ny fahadiovana avo, ny mari-pana ambony fahamarinan-toerana sy ny simika fandeferana avo, fanatsarana ny vokatra SIC / GAN kristaly sy EPI sosona (TaC susceptor vita amin'ny graphite), ary ny fanitarana ny androm-piainan'ny singa reactor fototra. Ny fampiasana ny tantalum carbide TaC coating dia ny famahana ny olan'ny sisiny sy ny fanatsarana ny kalitaon'ny fitomboan'ny kristaly, ary ny Semicera dia namaha ny tantalum carbide coating teknolojia (CVD), tonga amin'ny sehatra iraisam-pirenena mandroso.
Taorian'ny taona maro ny fampandrosoana, Semicera dia nandresy ny teknolojia nyCVD TaCmiaraka amin'ny ezaka iarahan'ny sampana R&D. Ny lesoka dia mora mitranga amin'ny dingan'ny fitomboan'ny wafers SiC, fa aorian'ny fampiasanaTaC, lehibe ny fahasamihafana. Ity ambany ity ny fampitahana ny wafers misy sy tsy misy TaC, ary koa ny ampahany amin'ny Simicera ho an'ny fitomboan'ny kristaly tokana.
Ny tena mampiavaka ny tantalum carbide mifono takelaka fanohanana fototra dia ahitana:
1. Ny mari-pana ambony: Tantalum carbide dia manana mari-pana avo lenta tsara, mahatonga ny takelaka fanohanana fototra voarakotra mety amin'ny filàna fanohanana amin'ny tontolo miasa amin'ny hafanana.
2. Ny fanoherana ny harafesina: Ny coating Tantalum carbide dia manana fanoherana tsara amin'ny harafesina, afaka manohitra ny harafesina simika sy ny oxidation, ary manitatra ny fiainan'ny serivisy.
3. Ny hamafin'ny haavo sy ny fanoherana: Ny hamafin'ny tantalum carbide coating dia manome ny takelaka fanohanana fototra tsara, izay mety amin'ny fotoana mitaky fanoherana avo.
4. Ny fahamarinan-toerana simika: Tantalum carbide dia manana fahamendrehana avo amin'ny akora simika isan-karazany, ka mahatonga ny takelaka fanohanana fototra voarakotra tsara amin'ny tontolo manimba sasany.
miaraka sy tsy misy TaC
Rehefa avy nampiasa TaC (ankavanana)
Ankoatra izany, ny Semicera'sNy vokatra vita amin'ny TaCmampiseho ny fiainana fanompoana lava kokoa sy ny fanoherana ny hafanana ambony kokoa raha oharina amin'nySiC coatings.Ny fandrefesana laboratoara dia nanaporofo fa ny anayTaC coatingsafaka miasa tsy tapaka amin'ny mari-pana hatramin'ny 2300 degre Celsius mandritra ny fotoana maharitra. Ireto ambany ireto ny ohatra sasantsasany amin'ny santionay:
