Semicera dia manome coating tantalum carbide (TaC) manokana ho an'ny singa sy mpitatitra isan-karazany.Semicera mitarika coating dingana mamela tantalum carbide (TaC) coatings mba hahazoana ny fahadiovana avo, ny mari-pana ambony fahamarinan-toerana sy ny simika fandeferana avo, fanatsarana ny vokatra SIC / GAN kristaly sy EPI sosona (TaC susceptor vita amin'ny graphite), ary ny fanitarana ny androm-piainan'ny singa reactor fototra. Ny fampiasana ny tantalum carbide TaC coating dia ny famahana ny olan'ny sisiny sy ny fanatsarana ny kalitaon'ny fitomboan'ny kristaly, ary ny Semicera dia namaha ny tantalum carbide coating teknolojia (CVD), tonga amin'ny sehatra iraisam-pirenena mandroso.
Silicon carbide (SiC) dia fitaovana manan-danja amin'ny andiany fahatelo amin'ny semiconductor, saingy ny tahan'ny vokatra dia mametra ny fitomboan'ny indostria. Taorian'ny fitsapana be dia be tao amin'ny laboratoara Semicera, dia hita fa tsy ampy ny fahadiovana sy ny fitoviana ilaina ny TaC voapoizina sy voasivana. Mifanohitra amin'izany, ny fizotran'ny CVD dia miantoka ny haavon'ny fahadiovana amin'ny 5 PPM sy ny fitoviana tsara. Ny fampiasana ny CVD TaC dia manatsara ny taham-pamokarana ny wafers karbida silisiôma. Mankasitraka ny dinika izahayTantalum Carbide CVD Coating Guide Ring mba hampihenana bebe kokoa ny vidin'ny SiC wafers.
Taorian'ny taona maro ny fampandrosoana, Semicera dia nandresy ny teknolojia nyCVD TaCmiaraka amin'ny ezaka iarahan'ny sampana R&D. Ny lesoka dia mora mitranga amin'ny dingan'ny fitomboan'ny wafers SiC, fa aorian'ny fampiasanaTaC, lehibe ny fahasamihafana. Ity ambany ity ny fampitahana ny wafers misy sy tsy misy TaC, ary koa ny ampahany amin'ny Simicera ho an'ny fitomboan'ny kristaly tokana.
miaraka sy tsy misy TaC
Rehefa avy nampiasa TaC (ankavanana)
Ankoatra izany, ny Semicera'sNy vokatra vita amin'ny TaCmampiseho ny fiainana fanompoana lava kokoa sy ny fanoherana ny hafanana ambony kokoa raha oharina amin'nySiC coatings.Ny fandrefesana laboratoara dia nanaporofo fa ny anayTaC coatingsafaka miasa tsy tapaka amin'ny mari-pana hatramin'ny 2300 degre Celsius mandritra ny fotoana maharitra. Ireto ambany ireto ny ohatra sasantsasany amin'ny santionay:
