Sandry mitantana waferdia fitaovana fototra ampiasaina amin'ny fizotran'ny famokarana semiconductor mba hikarakarana, famindrana ary toeranany mofo misy. Matetika izy io dia misy sandry robotika, gripper ary rafitra fanaraha-maso, miaraka amin'ny fahaiza-mihetsiketsika sy toerana tsara.Sandry mitantana ovydia be mpampiasa amin'ny rohy isan-karazany amin'ny famokarana semiconductor, ao anatin'izany ny dingana dingana toy ny wafer loading, fanadiovana, manify film deposition, etching, lithography sy ny fisafoana. Ny fahamarinany, ny fahatokisana ary ny fahaiza-manaony dia tena ilaina mba hiantohana ny kalitao, ny fahombiazany ary ny tsy fitoviana amin'ny fizotran'ny famokarana.
Ny asa lehibe amin'ny sandry mitantana wafer dia ahitana:
1. Famindrana wafer: Ny sandry mitantana wafer dia afaka mamindra araka ny tokony ho izy ny wafers avy amin'ny toerana iray mankany amin'ny iray hafa, toy ny fakana wafers avy amin'ny vata fitahirizana ary mametraka azy ireo ao anaty fitaovana fanodinana.
2. Fametrahana sy orientation: Ny sandry mitantana wafer dia afaka mametraka sy mandrindra tsara ny wafer mba hahazoana antoka ny fampifanarahana sy ny toerana mety amin'ny fanodinana na fandrefesana manaraka.
3. Fifehezana sy famotsorana: Matetika ny fitaovam-piadiana mitantana ny wafer dia manana gripper izay afaka mametaka tsara ny wafers ary mamoaka azy ireo rehefa ilaina mba hahazoana antoka ny famindrana sy ny fikarakarana ny wafers.
4. Fanaraha-maso mandeha ho azy: Ny sandry mitantana wafer dia manana rafitra fanaraha-maso avo lenta izay afaka manatanteraka avy hatrany ny filaharan'ny hetsika efa voafaritra mialoha, manatsara ny fahombiazan'ny famokarana ary mampihena ny fahadisoan'ny olombelona.
Toetra sy tombony
1. Ny refy mazava sy ny fahamarinan-toerana mafana.
2.High manokana stiffness sy mafana tsara fanamiana, ny fampiasana maharitra dia tsy mora ny hiondrika deformation.
3. Izy io dia manana endrika malefaka sy fanoherana tsara, noho izany dia mitantana ny chip tsy misy loto.
4.Silicon carbide resistivity amin'ny 106-108Ω, tsy andriamby, mifanaraka amin'ny anti-ESD fepetra takiana; Afaka manakana ny fivondronan'ny herinaratra static eo ambonin'ny chip.
5. Good thermal conductivity, ambany fanitarana coefficient.
