Mombamomba ny vokatra
Ny orinasanay dia manome serivisy fanodinana SiC amin'ny alàlan'ny fomba CVD amin'ny grafita, seramika ary fitaovana hafa, ka ny entona manokana misy karbônina sy silisiôna dia mihetsika amin'ny hafanana avo mba hahazoana molekiola SiC madio, molekiola napetraka eo ambonin'ny akora voarakotra, mamorona sosona fiarovana SIC.
Endri-javatra lehibe:
1. Avo fanoherana oxidation hafanana:
ny fanoherana ny oksidia dia mbola tena tsara raha toa ka mahatratra 1600 C ny mari-pana.
2. Avo fahadiovana: vita amin'ny etona simika deposition ambanin'ny mari-pana ambony chlorination toe-javatra.
3. Erosion fanoherana: avo hamafin'ny, compact surface, poti tsara.
4. Ny fanoherana ny harafesina: asidra, alkali, sira ary reagents organika.
Famaritana lehibe momba ny Coating CVD-SIC
| SiC-CVD Properties | ||
| Crystal Structure | FCC β phase | |
| hakitroky | g/cm³ | 3.21 |
| hamafin'ny | Vickers hamafin'ny | 2500 |
| Haben'ny voamaina | μm | 2~10 |
| Fahadiovana simika | % | 99.99995 |
| Hafanana fahaiza-manao | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimation Temperature | ℃ | 2700 |
| Felexural Strength | MPa (RT 4-point) | 415 |
| Ny Modulus Young | Gpa (fiondrika 4pt, 1300 ℃) | 430 |
| Fanitarana Thermal (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Conductivity mafana | (W/mK) | 300 |
-
SiC Coated Graphite Base Susceptors ho an'ny MOCVD
-
Manome nandroso LMJ microjet teknolojia tamin'ny laser ...
-
SiC Coating Liquid Phase Barrel Epi System
-
SiC-Mifono Epitaxial Reactor Barrel
-
Reaction sintered silisiôma carbide wafer sambo
-
Graphite Susceptctor miaraka amin'ny Silicon Carbide Coatin ...