Semiceramanolotra am-pireharehana ny endrinyGaN Epitaxyserivisy, natao hanomezana fahafaham-po ny filan'ny indostria semiconductor tsy mitsaha-mitombo. Gallium nitride (GaN) dia fitaovana fantatra amin'ny toetrany miavaka, ary ny fizotry ny fitomboan'ny epitaxial dia miantoka fa ireo tombontsoa ireo dia tanteraka amin'ny fitaovanao.
Layers GaN avo lenta Semiceramanokana amin'ny famokarana avo lentaGaN Epitaxysosona, manolotra fahadiovana ara-materialy tsy manam-paharoa sy ny tsy fivadihana ara-drafitra. Ireo sosona ireo dia manan-danja amin'ny fampiharana isan-karazany, manomboka amin'ny elektrônika herinaratra ka hatramin'ny optoelectronics, izay tena ilaina ny fampisehoana ambony sy azo itokisana. Ny teknikan'ny fitomboana mazava tsara ataonay dia manome antoka fa ny sosona GaN tsirairay dia mahafeno ny fenitra takiana amin'ny fitaovana manara-penitra.
Optimized ho amin'ny fahombiazananyGaN Epitaxynomen'ny Semicera dia novolavolaina manokana hanatsarana ny fahombiazan'ny singa elektronika. Amin'ny alàlan'ny fanaterana ireo sosona GaN tsy misy kilema sy madio tsara, dia ahafahantsika miasa amin'ny onjam-peo avo kokoa ny fitaovana, miaraka amin'ny fihenan'ny herinaratra. Ity fanatsarana ity dia fanalahidy ho an'ny fampiharana toy ny transistors avo lenta-elektronika (HEMTs) sy ny diodes (LED), izay tena zava-dehibe ny fahombiazana.
Mety amin'ny fampiharana isan-karazany Semicera'sGaN Epitaxydia isan-karazany, manome sakafo isan-karazany ny indostria sy ny fampiharana. Na mamolavola fanamafisam-pahefana ianao, singa RF, na diodes laser, ny sosona epitaxial GaN dia manome ny fototra ilaina amin'ny fitaovana avo lenta sy azo itokisana. Ny dingana ataonay dia azo amboarina hifanaraka amin'ny fepetra manokana, hiantohana ny vokatra tsara indrindra amin'ny vokatrao.
Fanoloran-tena amin'ny kalitaoNy kalitao no vato fehizoron'nySemicerany fomba fiasan'nyGaN Epitaxy. Mampiasa teknolojia fitomboana epitaxial mandroso sy fepetra fanaraha-maso kalitao henjana izahay mba hamokarana ny sosona GaN izay mampiseho fitoviana tena tsara, hakitroky ambany ary fananana fitaovana ambony. Ity fanoloran-tena amin'ny kalitao ity dia miantoka fa tsy vitan'ny hoe mahafeno ny fitaovanao fa mihoatra ny fenitry ny indostria.
Teknolojia fitomboana vaovao Semicerano lohalaharana amin'ny fanavaozana eo amin'ny sehatry nyGaN Epitaxy. Ny ekipanay dia mikaroka fomba sy teknolojia vaovao hanatsarana ny fizotran'ny fitomboana, manolotra sosona GaN miaraka amin'ny toetra elektrika sy mafana. Ireo fanavaozana ireo dia mandika amin'ny fitaovana mahomby kokoa, afaka mahafeno ny fitakian'ny fampiharana amin'ny taranaka manaraka.
Vahaolana namboarina ho an'ny tetikasanaoNy fanekena fa ny tetikasa tsirairay dia manana fepetra manokana,Semiceramanolotra namboarinaGaN Epitaxyvahaolana. Na mila mombamomba ny doping manokana ianao, ny hatevin'ny sosona, na ny famaranan-tany, dia miara-miasa akaiky aminao izahay mba hamolavola dingana mifanaraka amin'ny filanao. Ny tanjonay dia ny hanome anao sosona GaN izay novolavolaina tsara hanohanana ny fahombiazan'ny fitaovanao sy ny fahamendrehana.
| IREO SINGA NASIANA | Famokarana | Research | Dummy |
| Parametera kristaly | |||
| Polytype | 4H | ||
| Fahadisoan'ny orientation surface | <11-20 >4±0.15° | ||
| Parametera elektrika | |||
| Dopant | n-karazana azota | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramètre mekanika | |||
| savaivony | 150.0±0.2mm | ||
| hateviny | 350±25 μm | ||
| Primary flat orientation | [1-100]±5° | ||
| Lava fisaka voalohany | 47.5±1.5mm | ||
| fisaka faharoa | tsy misy | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| LOHAN-TSAMBO | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| aretina | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Eo anoloana (Si-face) henjana (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| FIRAFITRA | |||
| hakitroky micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Fahalotoana metaly | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Quality Front | |||
| anoloana | Si | ||
| Famaranana ambonin'ny tany | Si-face CMP | ||
| poti | ≤60ea/wafer (habe≥0.3μm) | NA | |
| scratches | ≤5ea/mm. Mitambatra halavany ≤Diameter | Cumulative length≤2 * Diameter | NA |
| Hodi-boasary / lavaka / tasy / striations / triatra / loto | tsy misy | NA | |
| Sisiny chips/indents/fracture/hex takelaka | tsy misy | ||
| faritra polytype | tsy misy | Faritra mitambatra≤20% | Faritra mitambatra≤30% |
| Famaritana tamin'ny laser anoloana | tsy misy | ||
| Quality Back | |||
| Famaranana miverina | C-face CMP | ||
| scratches | ≤5ea/mm, Mitambatra halavany≤2 * Savaivony | NA | |
| Kilema lamosina (tsisin'ny sisiny) | tsy misy | ||
| Ny henjana lamosina | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Back laser marking | 1 mm (avy amin'ny sisiny ambony) | ||
| sisin'ny | |||
| sisin'ny | Chamfer | ||
| Fonosana | |||
| Fonosana | Epi-vonona miaraka amin'ny fonosana banga Fonosana kasety maromaro misy wafer | ||
| * Fanamarihana: "NA" dia midika hoe tsy misy fangatahana Ny singa tsy voalaza dia mety manondro SEMI-STD. | |||
