FIZARANA/1
Crucible, mpihazona voa ary peratra mpitari-dalana ao amin'ny lafaoro kristaly tokana SiC sy AIN dia nambolena tamin'ny fomba PVT
Araka ny asehon'ny sary 2 [1], rehefa ampiasaina ny fomba fitaterana etona ara-batana (PVT) hanomanana SiC, ny kristaly voa dia ao amin'ny faritra ambany hafanana, ny akora SiC dia ao amin'ny faritra mafana kokoa (mihoatra ny 2400).℃), ary levona ny akora manta hamokatra SiXCy (indrindra indrindra ny Si, SiC₂, Si₂C, sns.).Ny fitaovana amin'ny dingana etona dia entina avy any amin'ny faritra mafana kokoa mankany amin'ny kristaly voa any amin'ny faritra ambany hafanana, fmanondraka nokleary voa, mitombo ary miteraka kristaly tokana.Ny fitaovana eny an-tsaha mafana ampiasaina amin'ity dingana ity, toy ny crucible, peratra mpitari-dalana mikoriana, mpihazona kristaly voa, dia tokony hahatohitra ny mari-pana ambony ary tsy handoto ny akora SiC sy ny kristaly tokana SiC.Toy izany koa, ny singa fanafanana amin'ny fitomboan'ny kristaly tokana AlN dia mila mahatohitra ny etona Al, N.₂harafesina, ary mila manana mari-pana eutektika ambony (amin'ny AlN) mba hanafohezana ny vanim-potoana fanomanana kristaly.
Hita fa ny SiC[2-5] sy AlN[2-3] nomanin'nyTaC coatedNy fitaovana eny an-tsaha mafana graphite dia madio kokoa, saika tsy misy karbaona (oksizenina, azota) ary loto hafa, kely kokoa ny lesoka amin'ny sisiny, kely kokoa ny fanoherana isaky ny faritra, ary ny hakitroky ny micropore sy ny hakitroky ny lavaka dia nihena be (aorian'ny KOH etching), ary ny kalitao kristaly. dia nihatsara be.Ankoatry ny,TaC cruciblesaika aotra ny tahan'ny fatiantoka, tsy manimba ny endriny, azo averina (fiainana hatramin'ny 200h), afaka manatsara ny faharetana sy ny fahombiazan'ny fanomanana kristaly tokana toy izany.
AVIAVY.2. (a) Diagram schematic ny SiC tokana kristaly ingot mitombo fitaovana amin'ny alalan'ny PVT fomba
(b) AmbonyTaC coatedbracket voa (anisan'izany ny voa SiC)
(c)Peratra mpitari-dalana graphite misy TAC
FIZARANA/2
MOCVD GaN epitaxial layer mitombo heater
Araka ny aseho ao amin'ny sary 3 (a), ny fitomboan'ny MOCVD GaN dia teknolojia fanodinana etona simika amin'ny alàlan'ny fihetsiketsehan'ny fandotoana organometrika mba hampitomboana sarimihetsika manify amin'ny fitomboan'ny epitaxial etona.Ny mari-pana marina sy ny fitoviana ao amin'ny lavaka dia mahatonga ny heater ho lasa singa fototra manan-danja indrindra amin'ny fitaovana MOCVD.Na ny substrate azo mafana haingana sy fanamiana nandritra ny fotoana ela (eo ambanin'ny miverimberina hihena), ny fahamarinan-toerana amin'ny mari-pana ambony (fanoherana ny entona harafesiny) sy ny fahadiovan'ny ny sarimihetsika dia hisy fiantraikany mivantana ny kalitaon'ny sarimihetsika deposition, ny hateviny tsy miovaova, ary ny fahombiazan'ny chip.
Mba hanatsarana ny fahombiazan'ny fampandehanana sy ny fanodinana ny heater amin'ny rafitra fitomboan'ny MOCVD GaN,TAC-mifononampidirina soa aman-tsara ny graphite heater.Raha ampitahaina amin'ny sosona epitaxial GaN novokarin'ny heater mahazatra (mampiasa ny coating pBN), ny sosona epitaxial GaN novolavolain'ny TaC heater dia manana rafitra kristaly mitovy, fitomian'ny hateviny, kilema anatiny, doping maloto ary loto.Ankoatra izany, nyTaC coatingmanana resistivity ambany sy ambany emissivity ambonin'ny, izay afaka manatsara ny fahombiazana sy ny fanamiana ny heater, ka mampihena ny fanjifàna herinaratra sy ny hafanana very.Ny porosity ny coating dia azo ahitsy amin'ny alalan'ny fanaraha-maso ny dingana masontsivana mba hanatsarana bebe kokoa ny taratra toetra mampiavaka ny heater sy hanitarana ny asa fanompoana [5].Mahatonga ireo tombony ireoTaC coatedgraphite heaters safidy tsara ho an'ny rafitra fitomboana MOCVD GaN.
AVIAVY.3. (a) Diagram schematic amin'ny fitaovana MOCVD ho an'ny fitomboan'ny epitaxial GaN
b) Heater grafita vita amin'ny TAC voavolavola napetraka ao amin'ny setup MOCVD, tsy anisan'izany ny fototra sy ny bracket (sary mampiseho ny fototra sy ny bracket amin'ny fanafanana)
(c) TAC-coated graphite heater taorian'ny fitomboan'ny epitaxial 17 GaN.[6]
FIZARANA/3
Mifono susceptor ho an'ny epitaxy (wafer carrier)
Wafer carrier dia singa ara-drafitra manan-danja amin'ny fanomanana ny SiC, AlN, GaN ary ny wafers semiconductor kilasy fahatelo hafa ary ny fitomboan'ny wafer epitaxial.Ny ankamaroan'ny mpitatitra wafer dia vita amin'ny graphite ary voarakotra amin'ny SiC coating mba hanoherana ny harafesina avy amin'ny gaza, miaraka amin'ny mari-pana epitaxial 1100 hatramin'ny 1600°C, ary ny fanoherana ny harafesina amin'ny coating fiarovana dia manana anjara toerana lehibe amin'ny fiainan'ny mpitatitra wafer.Ny valiny dia mampiseho fa ny tahan'ny harafesina ny TaC dia in-6 miadana kokoa noho ny SiC amin'ny amoniaka avo lenta.Ao amin'ny hydrogène mari-pana ambony, ny tahan'ny harafesina dia mihoatra ny in-10 miadana kokoa noho ny SiC.
Voaporofo tamin'ny andrana fa ny lovia rakotra TaC dia mampiseho mifanaraka tsara amin'ny fizotran'ny GaN MOCVD manga ary tsy mampiditra loto.Taorian'ny fanitsiana dingana voafetra, ny fitarihana lehibe amin'ny fampiasana ireo mpitatitra TaC dia mampiseho ny fampisehoana sy ny fitoviana mitovy amin'ny mpitatitra SiC mahazatra.Noho izany, ny fiainana fanompoana ny TAC-mifono pallets dia tsara kokoa noho ny miboridana ranomainty vato sySiC coatedpallets graphite.
Fotoana fandefasana: Mar-05-2024