Amin'ny sehatry ny teknolojia elektronika ankehitriny, ny fitaovana semiconductor dia manana anjara toerana lehibe.Anisan'izany, silisiôma carbide (SiC) ho toy ny fitaovana semiconductor hantsana lalina manjaka, miaraka amin'ny tsara fampisehoana tombony, toy ny avo fahatapahana herinaratra saha, avo saturation hafainganam-pandeha, avo mafana conductivity, sns, dia tsikelikely lasa ifantohan'ny mpikaroka sy ny injeniera.Ny kapila epitaxial silisiôma carbide, ho ampahany manan-danja amin'izany, dia naneho ny mety ho fampiharana lehibe.
一, fampisehoana kapila epitaxial: tombony feno
1. Sahan'ny herinaratra faran'izay avo lenta: raha oharina amin'ny fitaovana silisiôma nentim-paharazana, dia mihoatra ny in-10 ny fahatapahan'ny sehatry ny herinaratra silisiôma karbida.Midika izany fa eo ambanin'ny fepetra mitovy amin'izany, ny fitaovana elektronika mampiasa kapila epitaxial silisiôma karbida dia afaka mahatohitra ny tondra-drano avo kokoa, ka mamorona fitaovana elektronika avo lenta, avo lenta, avo lenta.
2. Haingam-pandeha ambony saturation: ny saturation hafainganana ny silisiôma carbide dia mihoatra ny 2 heny noho ny silisiôma.Miasa amin'ny hafanana avo sy ny hafainganam-pandeha ambony, ny kapila epitaxial silisiôma karbida dia manao tsara kokoa, izay manatsara ny fahamarinan-toerana sy ny fahamendrehan'ny fitaovana elektronika.
3. High efficiency thermal conductivity: ny thermal conductivity ny silisiôma carbide dia mihoatra ny in-3 ny silisiôma.Ity endri-javatra ity dia ahafahan'ny fitaovana elektronika mamoaka hafanana tsara kokoa mandritra ny fiasana mahery vaika, ka hisorohana ny hafanana be loatra sy hanatsara ny fiarovana ny fitaovana.
4. Filaminana simika tena tsara: amin'ny tontolo faran'izay haingana toy ny hafanana avo, ny tsindry ambony ary ny taratra mahery vaika, ny fahombiazan'ny karbida silisiôma dia mbola miorina toy ny teo aloha.Ity endri-javatra ity dia ahafahan'ny kapila epitaxial silisiôma karbida hitazomana ny fahombiazany manoloana ny tontolo sarotra.
二, fomba fanamboarana: voasokitra tsara
Ny dingana lehibe amin'ny famokarana kapila epitaxial SIC dia misy ny fametrahana etona ara-batana (PVD), ny fametrahana etona simika (CVD) ary ny fitomboan'ny epitaxial.Ny tsirairay amin'ireo dingana ireo dia manana ny toetrany manokana ary mitaky fanaraha-maso mazava tsara ny masontsivana isan-karazany mba hahazoana vokatra tsara indrindra.
1. PVD dingana: Amin'ny alalan'ny evaporation na sputtering sy ny fomba hafa, ny SiC tanjona dia napetraka eo amin'ny substrate mba hamorona sarimihetsika.Ny sarimihetsika voaomana amin'ity fomba ity dia manana fahadiovana ambony sy kristaly tsara, fa ny hafainganam-pandehan'ny famokarana dia somary miadana.
2. CVD dingana: Amin'ny alalan'ny famoretana ny silisiôma carbide loharano entona amin'ny hafanana ambony, dia napetraka eo amin'ny substrate mba hamorona sarimihetsika manify.Ny hateviny sy ny fitovian'ny sarimihetsika nomanina amin'ity fomba ity dia azo fehezina, fa ny fahadiovana sy ny kristaly dia mahantra.
3. Fitomboan'ny epitaxial: fitomboan'ny sosona epitaxial SiC amin'ny silisiôna monocrystalline na fitaovana monocrystalline hafa amin'ny alàlan'ny fomba fanodinana etona simika.Ny sosona epitaxial nomanina amin'ity fomba ity dia manana fampifanarahana tsara sy fampisehoana tsara amin'ny fitaovana substrate, saingy ny vidiny dia avo be.
三, Fanantenana fampiharana: Manazava ny ho avy
Miaraka amin'ny fivoaran'ny teknolojia elektronika herinaratra sy ny fitomboan'ny fangatahana ho an'ny fitaovana elektronika azo itokisana avo lenta, ny kapila epitaxial silisiôma karbida dia manana fanantenana fampiharana malalaka amin'ny famokarana fitaovana semiconductor.Izy io dia ampiasaina betsaka amin'ny fanamboarana fitaovana semiconductor avo lenta avo lenta, toy ny switch elektrika, inverters, rectifiers, sns. Ankoatra izany, dia ampiasaina betsaka amin'ny sela masoandro, LED ary sehatra hafa.
Miaraka amin'ny tombotsoany tsy manam-paharoa sy ny fanatsarana tsy tapaka ny fizotran'ny famokarana, ny kapila epitaxial silisiôma karbida dia mampiseho tsikelikely ny tanjaky ny sehatra semiconductor.Manana antony inoana isika fa amin'ny ho avin'ny siansa sy ny teknolojia, dia handray anjara lehibe kokoa izy io.
Fotoana fandefasana: Nov-28-2023