Amin'ny maha-iray amin'ireo singa fototra amin'nyMOCVD fitaovana, Ny fototry ny grafit dia ny mpitatitra sy ny vata fampangatsiahana ny substrate, izay mamaritra mivantana ny fitoviana sy ny fahadiovan'ny fitaovana sarimihetsika, ka ny kalitaony dia misy fiantraikany mivantana amin'ny fanomanana ny takelaka epitaxial, ary miaraka amin'ny fitomboan'ny isan'ny fampiasana sy ny fiovan'ny toe-javatra miasa, dia tena mora ny mitafy, an'ny consumables.
Na dia manana conductivity mafana sy fahamarinan-toerana tsara aza ny graphite, dia manana tombony tsara izy amin'ny maha singa fototra azyMOCVD fitaovana, fa amin'ny dingan'ny famokarana, ny grafit dia hanimba ny vovoka noho ny sisa tavela amin'ny entona manimba sy ny organika metaly, ary hihena be ny fiainan'ny serivisy graphite.Mandritra izany fotoana izany, ny vovoka graphite mianjera dia hiteraka fandotoana ny chip.
Ny firongatry ny coating teknolojia dia afaka manome ambonin'ny vovoka fixation, hanatsara thermal conductivity, ary equalize hafanana fizarana, izay lasa ny tena teknolojia hamahana ity olana ity.Graphite base inMOCVD fitaovanafampiasana tontolo iainana, grafit fototra ambonin'ny coating tokony mahafeno ireto toetra manaraka ireto:
(1) Ny fototry ny graphite dia azo fonosina tanteraka, ary tsara ny hakitroky, raha tsy izany dia mora harafesina amin'ny entona manimba ny fototry ny graphite.
(2) Ny tanjaka mitambatra miaraka amin'ny fototry ny grafit dia avo mba hahazoana antoka fa tsy mora latsaka ny coating aorian'ny tsingerin'ny hafanana ambony sy ambany.
(3) Manana fitoniana simika tsara izy mba hisorohana ny tsy fahombiazan'ny coating amin'ny hafanana ambony sy ny atmosfera manimba.
Ny SiC dia manana tombony amin'ny fanoherana ny harafesina, ny conductivity mafana avo lenta, ny fanoherana ny fahatafintohinana mafana ary ny fitoniana simika avo lenta, ary afaka miasa tsara amin'ny atmosfera epitaxial GaN.Ho fanampin'izany, ny coefficient fanitarana mafana amin'ny SiC dia tsy mitovy amin'ny an'ny graphite, noho izany dia ny SiC no fitaovana tiana ho an'ny fametahana ny fototry ny graphite.
Amin'izao fotoana izao, ny SiC mahazatra indrindra dia karazana 3C, 4H ary 6H, ary tsy mitovy ny fampiasana SiC amin'ny karazana kristaly samihafa.Ohatra, ny 4H-SiC dia afaka manamboatra fitaovana mahery vaika;6H-SiC no matanjaka indrindra ary afaka manamboatra fitaovana photoelectric;Noho ny firafiny mitovy amin'ny GaN, ny 3C-SiC dia azo ampiasaina hamokarana sosona epitaxial GaN ary manamboatra fitaovana RF SiC-GaN.3C-SiC dia fantatra ihany koa amin'ny hoeβ-SiC, ary fampiasana lehibe nyβ-SiC dia toy ny sarimihetsika sy ny coating fitaovana, noho izanyβ-SiC amin'izao fotoana izao no fitaovana fototra ho an'ny coating.
Fotoana fandefasana: Nov-06-2023