Solid SiC Focus Ring

Ny Solid SiC Focus Ring avy amin'ny Semicera dia singa manara-penitra natao hamenoana ny fangatahan'ny famokarana semiconductor mandroso. Vita avy amin'ny fahadiovana ambonySilicon Carbide (SiC), ity peratra fifantohana ity dia mety amin'ny fampiharana isan-karazany amin'ny indostrian'ny semiconductor, indrindra amin'nyNy fizotran'ny CVD SiC, etching plasma, aryICPRIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching). Fantatra amin'ny fanoherana ny fitafy miavaka, ny fahamarinan-toerana mafana ary ny fahadiovana, miantoka ny fahombiazany maharitra amin'ny tontolo misy adin-tsaina.

Hiverina any amin'ny semiconductormofo manifyfanodinana, Solid SiC Focus Rings dia zava-dehibe amin'ny fitazonana ny etching marina mandritra ny fampiharana etching maina sy wafer. Ny peratra fifantohana SiC dia manampy amin'ny fifantohana amin'ny plasma mandritra ny dingana toy ny fiasan'ny milina fanodinkodinana plasma, ka mahatonga azy io ho ilaina amin'ny fametahana ny wafers silisiôma. Ny akora SiC mafy orina dia manome fanoherana tsy manam-paharoa amin'ny erosiation, miantoka ny faharetan'ny fitaovanao ary manamaivana ny fotoana fijanonana, izay tena ilaina amin'ny fitazonana ny vokatra avo lenta amin'ny fanamboarana semiconductor.

Ny Solid SiC Focus Ring avy amin'ny Semicera dia novolavolaina mba hahatohitra ny hafanana tafahoatra sy ny simika mahery setra matetika hita ao amin'ny indostrian'ny semiconductor. Izy io dia natao manokana hampiasaina amin'ny asa avo lenta toy nyCVD SiC coatings, izay tena zava-dehibe ny fahadiovana sy ny faharetana. Miaraka amin'ny fanoherana tsara amin'ny fahatafintohinana mafana, ity vokatra ity dia miantoka ny fampandehanana tsy tapaka sy maharitra ao anatin'ny toe-javatra faran'izay henjana indrindra, ao anatin'izany ny fiposahan'ny hafanana avo mandritra ny fotoana maharitra.mofo manifydingana etching.