Description
Ny susceptors graphite mifono SiC an'i Semicera dia novolavolaina tamin'ny alàlan'ny substrate graphite avo lenta, izay voarakotra tsara amin'ny Silicon Carbide (SiC) amin'ny alàlan'ny fizotran'ny Chemical Vapor Deposition (CVD). Ity famolavolana manavao ity dia miantoka ny fanoherana miavaka amin'ny fahatafintohinana mafana sy ny fahasimban'ny simika, manitatra be ny androm-piainan'ny susceptor graphite misy SiC ary miantoka ny fahombiazany mandritra ny fizotran'ny famokarana semiconductor.
Lafin-javatra fototra:
1. Fitondrana mafana indrindraNy susceptor graphite mifono SiC dia mampiseho conductivity mafana miavaka, izay tena ilaina amin'ny fanaparitahana hafanana mahomby mandritra ny famokarana semiconductor. Ity endri-javatra ity dia manamaivana ny gradient mafana eo amin'ny velaran'ny wafer, mampiroborobo ny fitsinjarana ny mari-pana manara-penitra ilaina amin'ny fanatrarana ny fananana semiconductor irina.
2. Fihetseham-po mahery vaika simika sy mafanaNy coating SiC dia manome fiarovana mahery vaika amin'ny harafesina simika sy fahatafintohinana mafana, mitazona ny fahamendrehan'ny susceptor graphite na dia amin'ny tontolo fanodinana henjana aza. Ity faharetana mihamitombo ity dia mampihena ny fotoana fiatoana ary manitatra ny androm-piainany, manampy amin'ny fitomboan'ny famokarana sy ny fandaniam-bola amin'ny trano famokarana semiconductor.
3. Fanamboarana ho an'ny filana manokanaNy susceptors graphite mifono SiC dia azo amboarina mifanaraka amin'ny fepetra sy ny tiany manokana. Manolotra safidy fanamboarana isan-karazany izahay, ao anatin'izany ny fanitsiana ny habeny sy ny fiovaovan'ny hatevin'ny coating, mba hiantohana ny fahaiza-manaon'ny famolavolana sy ny fampandehanana tsara indrindra ho an'ny fampiharana samihafa sy ny mari-pamantarana.
Applications:
ApplicationsSemicera SiC coatings dia ampiasaina amin'ny dingana isan-karazany amin'ny famokarana semiconductor, ao anatin'izany:
1. -Fabrication Chip LED
2. -Polysilicon Production
3. -Fitomboan'ny kristaly semiconductor
4. -Silicon sy SiC Epitaxy
5. -Oxidation Thermal sy Diffusion (TO&D)
Famaritana ara-teknika:
